판매용 중고 SEMITOOL SAT #9314457

SEMITOOL SAT (SEMITOOL SAT) 는 반도체 재료 및 집적 회로의 자동 단일 웨이퍼 습식 처리를 위해 개발 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 수성 또는 용매 기반 화학 물질로 수동으로 웨이퍼를 처리하지 않아도되며, 처리량을 높이고, 노동 시간을 줄입니다. SAT 장치는 Process Chamber, Photoresist Mechanism 및 Chemical Delivery Machine의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 프로세스 챔버 (Process Chamber) 는 열과 습도가 조절되는 제어 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 프로세스가 일관되고 반복 가능해집니다. 웨이퍼를 쉽게 로드하고 언로드할 수 있도록 챔버를 열 수 있습니다. 포토레시스트 메커니즘 (Photoresist Mechanism) 은 원하는 피쳐를 생성하기 위해 웨이퍼를 자외선 레이저에 노출시키는 역할을 합니다. 최대 품질의 결과를 확보하기 위해 노출을 미세하게 조정하여 처리 된 각 웨이퍼 (wafer) 마다 반복성 (repeatability) 과 우수한 결과를 보장합니다. 화학 배달 도구 (Chemical Delivery Tool) 는 전체 SEMITOOL SAT 자산에 필요한 화학 물질과 용매를 전달합니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 정확 한 순서 로, 그리고 정확 한 온도 와 조성물 로 처리 하도록 설계 되어, 원하는 결과 를 충족 시킨다. 이 "모델 '은 여러 종류 의 가공 을 처리 할 수 있도록, 여러 가지 화학 물질 과 용제 로" 스프레이' 와 "린스 '를 할 수 있도록 설정 할 수 있다. 높은 품질의 결과를 제공하는 것 외에도 SAT 장비에는 최소한의 사용자 개입이 필요합니다. 이 제품은 매우 자동화되어 있어 빠른 설치 및 작동이 가능합니다. 따라서 유지 보수, 수리, 재조정 시 다운타임을 줄여, 웨이퍼 로트를 처리하기 위한 비용 효율적인 솔루션이 됩니다. 또한, 이 시스템은 다른 생산 장비와 통합되어 능률적이고 자동화된 처리를 가능하게 합니다. SEMITOOL SAT 장치를 사용하면 제조업체는 웨이퍼 프로세싱으로 우수하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 컴팩트한 설계, 자동화된 운영, 낮은 유지 관리 요구 사항으로 인해 습식 화학 공정 (wet chemical process) 을 선택할 수 있습니다. 전체적으로 SAT 기계는 반도체 처리를 위해 안정적이고, 효율적이며, 경제적인 선택입니다.