판매용 중고 SEMITOOL SAT #9300421

SEMITOOL SAT는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 포토 esist 코팅 장비입니다. 이 시스템은 SAT Unit과 SMP Unit의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. SEMITOOL SAT Unit (SEMITOOL SAT Unit) 은 장치의 본체이며 포토 esist 재료의 적용 및 제거를 담당합니다. 이 장치는 두 부분으로 구성되어 있습니다: 본체와 공급 암. 본체에는 스프레이 건 (spray gun), 온도 및 압력 센서 (temperature and pressure sensor), 공기 모듈 (air module) 과 같은 포토리스 연주자를 적용 및 제거하는 데 필요한 구성 요소가 있습니다. 공급 암에는 2 개의 주요 저장 탱크에 포함 된 포토 esist 재료가 들어 있습니다. 광전자 재료 는 회전식 "노즐 '과 박막 머리 를 사용 하여" 웨이퍼' 에 전달 된다. 기계의 두 번째 구성 요소는 SMP 유닛 (SMP Unit) 으로, 코팅 중 포토 esist 재료를 관리하도록 설계되었습니다. 이 장치는 8 단계 유체 저장 탱크, 재료 프리 히터, 흡입 및 가압 모듈, 재순환 펌프의 4 가지 부분으로 구성됩니다. 8 단계 탱크는 포토 esist 재료를 관리하는 데 도움이되며, 최대 8 가지 유형의 photoresist 재료를 저장할 수 있습니다. 재료 프리 히터 (pre-heater) 는 포토 esist 물질의 온도를 올리는 데 사용되어 코팅 중에 포토 esist 물질의 적절한 접착과 완화를 웨이퍼로 보장합니다. 흡입 (suction) 및 가압 (pressurization) 모듈은 저장 탱크 내부의 포토 esist 물질의 흡입 및 가압을 제공하여 올바른 코팅 압력을 보장합니다. 마지막 으로, 재순환 "펌프 '는 저장" 탱크' 에 있는 광물질 을 원하는 온도 와 농도 로 유지 하는 데 도움 이 된다. 전체적으로, SAT는 반도체 산업에서 사용하도록 특별히 설계된 강력하고 효율적인 포토레시스트 코팅 도구입니다. SEMITOOL SAT 장치 (SEMITOOL SAT Unit) 와 SMP 장치 (SMP Unit) 를 결합하여 에셋을 웨이퍼에 정확하고 일관되게 적용하여 더 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 모델은 안정적이고 작동이 쉽기 때문에 대용량 반도체 생산 환경에 이상적인 선택입니다 (영문).