판매용 중고 SEMITOOL SAT #293671298

SEMITOOL SAT (SEMITOOL SAT) 는 SEMITOOL에서 개발 한 고정밀도 포토 esist 장비로, 포토 리토 그래피 및 포토 esist 공간 내의 응용 프로그램에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 정밀도와 균일성이 필수적인 프로덕션 어플리케이션에 최적화된 고급 (advanced) 기술을 사용합니다. 이 장치는 다중 파장 조명 소스 (multiple-wavelength lumination source) 를 사용하여 필요한 응용 프로그램으로 조정할 수 있습니다. 이는 i-line에서 깊은 UV에 이르기까지 다양합니다. 고속 셔터 제어 (High Speed Shutter Control) 와 자동 노출 제어 장치 (Automated Exposure Control Machine) 가 장착되어 있어 애플리케이션에 필요한 용량을 정확하게 제공할 수 있습니다. 전체 도구는 특수하게 설계된 Class 1 클린 룸 (Clean-Room) 내에 밀집되어 있어 에셋이 최적의 효율로 작동하도록 제어된 환경을 제공합니다. 이 모델은 사용 중인 응용 프로그램에 따라 특별히 선택된 plano-convex 렌즈 또는 di-electric 또는 reflective mirror와 같은 특수 광학을 사용합니다. 이렇게 하면, 응용 프로그램의 중요한 기능이 기판에 정확하게 이미지화됩니다. SAT의 내장 컴퓨터 장비는 조명, 균일성 및 안정성을 정확하게 제어합니다. 이것은 조명 (luminosity), 열 제어 (thermal control), 솔라라라이제이션 저항 (solarization resist) 및 일관성 제어 (consistency control) 를 모니터링하는 유능한 센서로 구성된 워크플로를 통해 달성됩니다. 또한 사용자는 자동화된 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능을 제공하여 각 기판을 노출 전, 중, 후에 배치하고 정렬할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL SAT와 함께 사용할 수있는 최적의 웨이퍼 선택을 제공합니다. 이 웨이퍼는 유리 슬라이드와 실리콘 웨이퍼와 같은 일반적인 반도체 기판에서 맞춤형 디자인 된 옵토 전자 재료에 이르기까지 다양합니다. 이러한 기능을 통해 SAT 는 정밀도 및 반복성이 필요한 생산 환경에 적합한 photoresist 유닛이 됩니다. 효율성이 높은 기계로, 다양한 어플리케이션을 손쉽고 정확하게 다룰 수 있습니다 (영문).