판매용 중고 SEMITOOL SAT 2080S #9210337

SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipment는 반도체 산업에서 널리 사용되는 고성능, 대용량 리소그래피 시스템입니다. 이 장치는 최대 (maximum) 수율을 제공하며 가장 까다로운 사양과 요구 사항을 충족시켜 반복 가능한 프로세스 흐름을 가능하게 합니다. 이 기계는 최첨단 2파장 스캐닝 (scanning) 및 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 노출 기능을 사용하여 고급 및 향후 트랜지스터 기술이 요구하는 최고 해상도 수준의 필요성을 충족합니다. 이 도구는 NIR (near-infrared) 파장이 775nm 인 2 파장 SpectraBroadband? 를 기반으로하여 구조가 작고 해상도가 높습니다. 이 자산은 또한 독특한 AET (Auto-Exposure Tunnel) 개념을 특징으로하며, 이는 노출 주기를 자동화하고 처리량을 높이고, 수율을 높이고, 품질 제어를 향상시킵니다. 이 모델에는 전체 metrology feedback, wafer process diagnostics and control, recipe defect characterization 등의 통합 프로세스 모니터링 기능도 포함되어 있습니다. 이를 통해 프로세스 이해 향상, 웨이퍼 수준 오류 감지, 패턴 관련 결함 예측 등이 가능합니다. 이 장비는 또한 멀티 프로세스 및 멀티 제품의 유연성을 제공하며, 사전/사후 처리를 위한 외부 챔버와 함께 듀얼 챔버 에치 모듈 (옵션) 을 제공합니다. 또한, 카세트 관리 프로세스를 자동화하고 정확성을 보장하는 NexBar® 바코드 리더와 함께 사용할 수 있습니다. SAT 2080S Photoresist System은 연구와 제작 모두에 이상적인 최상위 도구입니다. 고급 Optic, 자동화, 프로세스 모니터링 툴, 개선 전략을 활용하여 높은 수율과 반복 가능한 프로세스 흐름을 제공합니다. 가장 까다로운 사양을 충족할 수 있는 능력 (영문) 을 통해 이 제품은 앞으로 몇 년 동안 업계 최고의 솔루션이 될 것입니다.