판매용 중고 SEMITOOL SAT 2060D #151789

SEMITOOL SAT 2060D photoresist 장비는 상용, 실험실 및 연구 응용 분야에 이상적인 컴팩트하고 비용 효율적인 photoresist 처리 솔루션입니다. 이 시스템은 정확한 습식 클리닝 단계와 고급 Post-resist 베이크 단계를 제공할 수 있습니다. 이 장치는 사용, 운영, 유지 관리가 용이하며, 완전히 자동화된 레시피 기반 접근 방식으로 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. SAT 2060D는 처리량을 높일 수 있는 듀얼 트랙 설계를 갖추고 있습니다. 듀얼 트랙 디자인은 또한 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 영역에 더 많은 액세스를 가능하게하며, 인체 공학 및 운영자 안전을 지원합니다. 이 기계는 APC (Advanced Process Control) 를 사용하여 정밀한 타이밍 및 온도를 보장하는 가열 및 냉각 램프 속도를 정확하게 제어하여 각 실행에서 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 도구는 또한 자체 진단 및 레시피 프로그래밍을 내장하여 일관되고 안정적인 성능을 보장합니다. 이 자산은 두 개의 개별 프로세스에 대해 2 개의 독립적 인 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 사용하며, 이는 다중 단계 저항 스트립 작업에 이상적입니다. 이 모델은 사이클 당 3, 5 또는 8 모듈의 4 가지 표준 장비 구성 또는 추가 옵션 모듈의 표준 8 모듈 구성 중에서 선택할 수 있습니다. SEMITOOL SAT 2060D는 고급 SCADA (Supervisory Control and Data Acquisition) 기술을 사용하여 데이터 수집 정확성, 프로세스 제어 및 경보 모니터링을 향상시킵니다. 이 시스템은 재사용 가능 또는 일회용 웨이퍼 캐리어를 선택할 수 있으며, 정확한 습식 클리닝 프로세스, 엔드 포인트 판독, 웨이퍼 위치 조정 및 Post-resist 베이크 프로세스 단계를 제공합니다. 구성에 따라 시간당 최대 1,500 개의 웨이퍼를 실행할 수 있습니다. 희석 플루오린화 수소산 (HF) 및 황산 (H2SO4) 용액을 포함하여 다양한 화학 물질 중에서 선택할 수있는 옵션도 있습니다. SAT 2060D (SAT 2060D) 는 다양한 기능과 유연성을 제공하여 다양한 photoresist 처리 응용 프로그램에 적합합니다. 짧은 주기 시간, 정확한 엔드 포인트 판독 및 웨이퍼 위치 조정으로 인해 상업, 실험실 및 연구 응용에 이상적인 선택이 됩니다. 이 장치는 각 실행에 대해 일관되고 신뢰할 수있는 결과를 제공 할 수 있으며, 정확성, 신뢰성, 비용 효율성을 제공하는 믿을 수 없을 정도로 안정적인 포토리스 (photoresist) 머신입니다.