판매용 중고 SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U #293628381

SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U는 웨이퍼 청소 및 코팅을 위해 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 대용량 및 프로토 타입 생산에 모두 적합합니다. 기판 처리, 에칭 (etching) 및 포스트 코팅 프로세스의 긴밀한 통합을 통해 저항 코팅 프로세스를위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. SAT 111은 고급 컴퓨터 제어 시스템 포워드 감지 및 처리, 에지 컨트롤, 레시피 관리 및 메인 컨트롤을 사용합니다. 주요 기능으로는 일관된 이미지 품질을 위한 자동 초점 장치, 직경 200mm까지의 기판을 처리 할 수있는 단일 열화 롤-투-롤 (roll-to-roll) 프로세스, 고급 베이크 제어 및 온도 모니터링 시스템 등이 있습니다. 저항 화학은 넓은 웨이퍼 크기 범위에 대한 균일 한 저항 커버리지를 제공하도록 설계되었습니다. 자동 웨이퍼 처리 기계는 안정적인 기판 운송을 제공합니다. 이 도구의 가장자리 제어는 가장자리 투여 정확도가 향상되도록 균일 한 가장자리 노출을 보장합니다. 고급 레시피 관리 자산 (Advanced Recipe Management Asset) 을 사용하면 모든 웨이퍼 크기 범위에 대한 레시피를 빠르게 선택할 수 있습니다. 베이크 제어 모델 (bake control model) 은 성능 및 품질 향상을 위해 정확한 열 프로파일을 제공하도록 설계되었습니다. SAT 111에는 전용 에지 추출 장비도 있습니다. 이 시스템은 수동 처리를 제거하고 정확한 에지 검사 성능을 제공합니다. 이 장치에는 또한 램프 업 (ramp-up) 보호 머신이 있으며, 이로 인해 보호되지 않은 기판이 손상되지 않습니다. 자동 기능 외에도 SAT 111은 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 제품은 충격 방지 (shock protection) 및 과전류 모니터 (overcurrent monitor) 등 엄격한 안전 기준을 준수하도록 제작되었습니다. 이 도구는 온도 로깅, 주파수 모니터링 등 향상된 모니터링 옵션도 제공합니다. 또한 전체 프로세스를 통해 사용자를 안내하는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공합니다. SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U는 웨이퍼 청소 및 코팅의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 포토레시스트 자산입니다. 자동 웨이퍼 처리, 고급 레시피 관리 및 베이크 컨트롤 (bake control) 및 높은 안전 표준을 갖춘 SAT 111은 포토리스 코팅 프로세스를위한 포괄적 인 솔루션을 제공하여 대용량 및 프로토 타입 생산에 이상적입니다.