판매용 중고 SEMITOOL SAT 1060S(0A1P) #9121332
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SEMITOOL SAT 1060S (0A1P) Photoresist Equipment는 photorecordable 및 photoresist 석판을 스트라이핑 및 재확보하는 데 사용되는 화학 스트리핑 및 스트리핑 장치입니다. 이 장치는 다양한 포토 마스크 (photomask) 의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 스테인레스 스틸 캐비닛으로 제작되었으며, 최대 열 전달 및 화학 안전을 위해 10 갤런 니켈 도금 탱크가 있습니다. 화학 탱크에는 온도 조절 바닥 칠 저수지, 드레인 펌프 (Drain Pump) 및 재순환 가열 코일이 장착되어 있습니다. 상단은 또한 연산자가 솔루션 유량 (flow rate) 및 플레이트 온도 제어 (plate temperature control) 에 액세스 할 수있는 곳입니다. 이 장치는 4 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 펌프, 난방 코일, 재순환기 및 원자로입니다. "펌프 '는 광전자 용액 을" 탱크' 에서 한 번 의 용액 을 가열 하는 일 을 담당 하는 가열 "코일 '로" 펌프' 하는 데 사용 된다. 그런 다음, 재순환기 를 사용 하여, 가열 된 광전물질 용액 을 원자로 에 유입 시키기 전 에 순환 시킨다. 원자로는 자외선 (UV light) 에 노출되는 동안 포토 esist 용액을 수용하는 스테인리스 스틸 클래드 혈관으로 둘러싸여있어 광활성이다. 시스템은 3 개의 독립적 인 프로그래밍 가능한 컨트롤러 시스템을 사용하여 제어됩니다. 이러한 컨트롤러는 공구의 온도, 시간, 압력, 전류를 모니터링하고 제어합니다. 또한 자산의 사이클 속도, 드럼 속도 및 스풀러 압력을 관리합니다. 이 모델은 안전하고 효율적이며 환경 친화적인 운영을 위해 설계되었습니다. 유체정역학적 약실 (hydrostatic chamber) 은 사진 마스크를 위험한 노출로부터 보호하는 반면, 장비는 화학 목욕의 온도와 압력을 자동으로 측정하고 조정합니다. 또한, SEMITOOL SAT 1060S (0A1P) 에는 화학 유지 밸브 및 직접 공기 분사 노즐이 장착되어 있어, 연산자가 사용 중인 화학 물질에 노출되지 않도록 방지합니다. 이 장치에는 2 개의 플로팅 뚜껑과 P- 트랩 (P-trap) 이 있으며, 지속적으로 참석하지 않아도됩니다. SEMITOOL SAT 1060S (0A1P) Photoresist System은 photoresist 스트리핑 및 재확보에 적합한 선택입니다. 효율적이고 안전한 설계와 충분한 자동화 (automation) 및 화학 고정 장치 (chemical retention features) 를 결합하면 모든 photomask 공장에서 최고 성능을 유지하고 고품질 마스크를 생산할 수 있습니다.
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