판매용 중고 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265378

SEMITOOL/RHETECH WST-306AC 포토 esist 장비는 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 포토 esist 처리 시스템입니다. 최대 300mm 직경의 기판을 처리 할 수있는 신뢰성이 높은 견고한 견고한 장치 (process repeatability) 로, 프로세스 반복 가능성이 ± 2m입니다. 또한, 이 머신은 매우 저렴한 TCO (총 소유 비용) 를 제공하며 운영자 유지 보수를 최소화하면서 처리량을 극대화합니다. RHETECH WST-306AC 포토 esist 도구는 높은 정확도, 자동 기판 로딩, 언로드 및 기판 프레젠테이션을 제공하는 로봇 기판 로더를 포함합니다. SEMITOOL WST-306AC에는 이중 챔버 (dual-chamber) 옵션이 장착되어 있으며, 다운타임을 최소화하고 생산성을 극대화하기 위해 기판을 처리하기위한 2 개의 개별 챔버를 제공합니다. WST-306AC 자산의 저항 분무기는 고정밀, 저입자 수 분무기로, 동적 범위 내에서 일정한 압력 및/또는 흐름을 유지합니다. 또한 메니스커스 제어 루프 (meniscus control loop) 를 사용하여 스프레이 패턴을 정확하게 제어하고 두께를 저항할 수 있습니다. 이 장비 는 "레지스트 '충전 중 에 수동적 인 개입 을 할 필요 가 없이, 매우 빠른 속도 로 정확 하게 응고 할 수 있는 기능 을 가지고 있다. SEMITOOL/RHETECH WST-306AC 시스템은 고급 이미징 광학과 통합되어 프로세스 가시성을 향상시킵니다. 이미징 광섬유는 초고해상도 이미지를 전송하는데, 이 이미지를 통해 저항충전 (resist fill) 패턴에 대한 자세한 정보를 제공할 수 있습니다. 또한, 장치는 고급 메시지 표시 보드를 통합하여 프로세스 결과를 표시합니다. RHETECH WST-306AC 포토 에스트 머신 (photoresist machine) 은 코팅 된 유리 광학으로 탁월한 광학 성능을 제공하며, 최대 효율성과 정확한 이미지 처리를 위해 레이저 간섭계와 정확하게 정렬되어 있습니다. 이 도구에는 고급 제어 에셋 (Advanced Control Asset) 이 장착되어 저항성 증착, 온도 및 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 자동 기판 식별, 자동 로드/언로드 및 고급 자체 진단을 통해 매우 자동화되었습니다. 결론적으로, SEMITOOL WST-306AC는 반도체 생산에서 포토 esist 처리를위한 이상적인 플랫폼 역할을합니다. 이 모델은 현대의 반도체 산업의 요구를 효과적으로 충족시키기 위해 극도의 정확성, 정밀한 프로세스 제어, 최첨단 자동화 (최첨단 자동화) 를 특징으로합니다.