판매용 중고 SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265377

SEMITOOL/RHETECH WST-306AC는 웨이퍼 기판 처리를위한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 IC 및 MEMS 응용 프로그램과 같은 반도체 처리에 이상적이며, 처리량 및 정확도를 향상시키기 위해 다수의 "스마트 (smart)" 기능이 통합되어 있습니다. 웨이퍼 처리를 위해 RHETECH WST-306AC는 독점적 인 "마이크로 처리 된" 풀 히터를 사용하여보다 균일하고 정확한 온도 제어를 제공합니다. 이 장치는 또한 SubRack ™ 설계를 통해 최대 3개의 작은 설치 공간 모듈을 삽입할 수 있습니다. 이 모듈식 설계를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 따라 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 풀 히터 (pool heater) 외에도 화학적 전달, 폐기물 처리 (waste disposal) 및 오븐 모듈 (oven module) 을 장착할 수 있으므로 사용 시점 또는 배치 작업이 뚜렷합니다. SEMITOOL WST-306AC Photoresist Asset은 "스마트" 기술을 사용하여 제작되고 설계되어 처리 정확성과 처리량이 향상되었습니다. 예를 들어, 프로세스 컨트롤러에는 "웨이퍼 흐름 (Wafer Flow)" 기능이 장착되어 있어 모델이 프로세스 전반에 걸쳐 기판 진행을 추적 할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 기간 동안 미리 정해진 점에서 웨이퍼 (wafer) 매개변수를 자동으로 확인할 수 있습니다. 다른 스마트 기능으로는 프로세스 레시피 제어, 빠른 사이클 시간 및 레시피 추적이 있습니다. 펄스 리버스를 사용하여 장비는 photoresist premix, rinse, bake temperature 및 bake time 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 펄스 리버스 기술은 마이크로 초 정확도로 제어 할 수 있으며, 반복 가능합니다. WST-306AC는 또한 잔해 축적을 줄일 수있는 포토 esist ashing 프로세스를 특징으로합니다. 이 시스템에는 중복 안전 (overtemperature protection, override protection, thermal shutdown) 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 부적절한 작업 및/또는 연산자 오류로부터 보호됩니다. 전반적으로 SEMITOOL/RHETECH WST-306AC Photoresist Unit은 반도체 웨이퍼 처리에 이상적인 도구입니다. "스마트 (Smart)" 기술, 펄스 리버스 (Pulse Reverse) 및 SubRack (TM) 디자인과 같은 기능은 폐기물과 다운타임을 최소화하면서 효율적이고 통제된 처리를 가능하게 합니다.