판매용 중고 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9288369

SEMITOOL/RHETECH ST-870 photoresist 장비는 집적 회로를 생산하기 위해 웨이퍼에 photoresist를 증착시키기 위해 개발 된 장비입니다. 광전자 (photoresist) 는 광마스크 (photomask) 에서 웨이퍼 (wafer) 또는 기질의 표면으로 패턴을 전달하기 위해 마이크로 일렉트로닉스 제작에 사용되는 감광 물질이다. RHETECH ST-870 (RETECH ST-870) 은 매우 세밀한 패턴화 및 짧은 기능 요구 사항에 대한 정확한 사진 분석 프로세스를 제공하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 시스템입니다. SEMITOOL ST-870은 SAR (Substrate Alignment Robot) 모듈부터 시작하여 정확한 오버레이 및 포커스를 위해 높은 정확도 기판 정렬을 제공하는 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 자동 로더에는 포토 esist를 유지하고 입자 생성을 줄이기 위해 특수 냉각 챔버 (special cooled chamber) 가 포함되어 있습니다. "웨이퍼 '를 적재 하기 전 에" 와퍼' 의 결함 을 확인 할 수 있는 "온보드 비전 '장치 도 갖추어져 있다. 이 기계에는 증착실의 온도 및 압력을 제어하기 위해 필요한 가열 또는 냉각 가스를 제공하는 GDM (Gas Delivery Module) 도 포함되어 있습니다. 다음 구성 요소는 증착 모듈로, 진공 증착 소스 (vacuum deposition source) 와 웨이퍼의 균일하고 빠른 가열 및 냉각을 제공하는 듀얼 베이크 기술로 구성됩니다. 이 도구 에는 여러 가지 "스프레이 '각도 와 작동 압력 을 달성 할 수 있는" 스프레이 헤아드' 가 추가 되어 있어, 사진 저항기 "스프레이 '무늬 를 더 잘 제어 할 수 있다. 또한 저류 유전체 버블러 (low-flow dielectric bubbler) 를 사용하여 종횡비가 높은 장치의 균일 한 범위를 보장합니다. 마지막으로, 광전자는 고출력 펄스 UV TLD 광원을 사용하여 응용된다. 유연성이 높아 까다로운 크기 (dimensions) 와 단단한 형상 (geometries) 을 충족할 수 있습니다. 광원에는 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 패턴화하고 정렬할 수 있도록 각도 잠금 (angle lock) 이 장착되어 있습니다. 자산은 표준 8-12 인치, 300mm 및 450mm와 같은 다양한 유형의 웨이퍼와 함께 사용할 수 있습니다. 전반적으로 ST-870 (ST-870) 은 강력하고 신뢰할 수있는 포토리스 연주자 모델로, 복잡한 마이크로 일렉트로닉 장치를 생산하기 위해 높은 수준의 정확성과 정밀도를 제공합니다. 자동화 된 로더 및 유전체 버블러는 포토 esist의 부드럽고 코팅을 보장합니다. 고출력 광원은 정확한 패턴화와 정렬, 온도와 가스 전달 모듈 (gas delivery module) 을 통해 웨이퍼의 균일 한 가열 및 냉각을 허용합니다. SEMITOOL/RHETECH ST-870은 목표적이고 정확한 마이크로 전자 회로 제작에 적합한 선택입니다.