판매용 중고 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265370

SEMITOOL/RHETECH ST-870은 고급 에칭 및 패턴 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 다양한 피쳐 크기와 종횡비를 제공하도록 설계되었으며, 수천 가지 전자 부품에 대한 나노 스케일 (nanoscale) 패턴을 만드는 데 사용됩니다. photoresist 장치에는 엑시머 레이저, 빔 스캐닝 머신, 자기 주걱제 및 가열 된 오븐이 포함됩니다. 엑시머 레이저 빔 (excimer laser beam) 은 광저항 물질을 비추는 데 사용되며, 이어서 빔 스캐닝 도구로 패턴화됩니다. 자기 주걱은 패턴 화 된 물질을 기판 (예: 실리콘 웨이퍼) 으로 옮기는 데 사용됩니다. 그런 다음, 가열 된 "오븐 '을 사용 하여 광전물질 을 구워 일관성 있는 표면 을 보장 한다. RHETECH ST-870은 정밀 에칭 및 패턴화 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 파장은 248nm이며 정확한 리소그래피가 가능합니다. 에셋은 또한 더 큰 구성 요소를 위해 최대 40mm의 필드 크기를 제공하며, 0.1 미크론 정확도로 안정화됩니다. 모델에는 초점 및 기판 크기에 따라 0.1 ~ 3m/분 (m) 으로 설정할 수있는 흐름 제어가 있습니다. 또한 SEMITOOL ST-870에는 그림자 및 광학 손실을 최소화하도록 설계된 활성 사고 각도 제어가 있습니다. ST-870 (ST-870) 은 다양한 구성 요소에 대한 고속 리소그래피, 정밀 패턴 및 고급 에칭을 제공하는 뛰어난 포토레지스트 (photoresist) 장비입니다. 정확한 피쳐 크기와 완벽한 종횡비로 나노 스케일 (nanoscale) 패턴을 만들 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 포토리스 연주자들과 연동하여 고급 에칭 (etching) 및 패턴화 (patterning) 프로세스를 위한 다용도 및 신뢰성 있는 옵션입니다.