판매용 중고 SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265367

SEMITOOL/RHETECH ST-870은 photoresist 기판의 코팅, 개발 및 이미징과 같은 중요한 프로세스 단계를 달성 할 수 있도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '에는" 기판' 에 도달 한 정밀 "로봇 '암 이 장착 되어 있으며, 그것 은 포토레지스트' 과정 의 여러 순차 단계 를 거친다. 이 장치는 프로세스 모드 및 노출 제어 소프트웨어를 사용하여 정확한 목욕 온도 조절, 사진 처리 시간, 필름 두께의 사전 설정 (pre set detection) 을 사용합니다. 또한, 기계는 기판 인식 용 상단 카메라, 고해상도 모니터, 고정밀 이미지 분석 도구 등을 갖추고 있습니다. RHETECH ST-870은 양성 및 음성 크롬, ZEP520A, AZ5214E 및 S1813을 포함한 다양한 포토 esist 유형을 지원합니다. 또한 기판의 사전 정렬, 노출 단계 수 제어, 습식 목욕의 주기 시간 제어 (cycle time of the wet bath) 에 대한 피쳐가 있습니다. 에셋에는 다양한 이미지와 자동 이미지 조정 (Automatic Image Adjustment) 이 장착되어 있어 정확한 정확도로 고해상도 포토리스트를 만들 수 있습니다. SEMITOOL ST-870 (SEMITOOL ST-870) 은 광물질 (photoresist) 을 단단하거나 유연한 기판으로 정밀 배치하기위한 전자 제어 분배 모델을 갖추고 있습니다. 이 분배 장비 (Dispensing Equipment) 를 사용하면 기판에서 포토 리스트 (photoresist) 를 정확하게 레이어링할 수 있으므로 복잡한 패턴을 매우 정확하게 만들 수 있습니다. ST-870은 일관된 photoresist 결과를 제공 할 수있는 통합 개발 시스템을 제공합니다. 이 개발 장치 (development unit) 는 조정 가능한 속도 설정을 가진 수직 스핀 코트 (spin-coat) 방식을 사용하여 개발 주기 동안 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 기계는 기질에서 포토 esist를 완전히 제거하기 위해 최대 6 개의 린싱 단계를 허용합니다. SEMITOOL/RHETECH ST-870에는 사전화 된 물 제거, 용매 청소, 건조제 및 건조 질소를 포함하여 개발 후 프로세스를 최적화하는 클리닝 스테이션도 있습니다. 청소 스테이션은 일관되고 균일 한 발작 과정을 보장하도록 설계되었습니다. 전반적으로, RHETECH ST-870 도구는 정교한 자동화 기능을 갖춘 매우 다양한 포토 esist 플랫폼으로, 사용자가 포토 esist 기판 제조에서 정확하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 대용량 (Mab Volume) 생산에서 소규모 (Small Scale) 운영에 이르기까지 다양한 사용자에게 적합합니다.