판매용 중고 SEMITOOL / RHETECH EQ242S/PR #293628380

RHETECH EQ242S/PR은 일관되고 안정적인 리소그래피 결과를 가능하게하기 위해 설계된 최첨단 포토 esist 처리 장비입니다. 고급 E- 빔 리소그래피 (E-beam lithography) 도구와 강력한 UV 레이저가 장착되어 있어 리소그래피 애플리케이션을위한 포괄적 인 솔루션입니다. 이 설계는 포토레시스트의 빠르고 반복 가능한 처리에 최적화되어 뛰어난 프로세스 결과를 제공합니다. 광범위한 포토레시스트를 처리 할 수 있으며, 주기 시간 (cycle time) 을 단축하기 위해 빠른 웨이퍼 정렬을 가능하게합니다. 시스템은 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 단일 카세트 크기의 E-beam 리소그래피 도구와 UV 레이저 제거 장치를 포함하는 진공 공정 챔버. 이 기계는 또한 행성 웨이퍼 정렬 도구를 갖추고 있으며, 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 정렬이 가능합니다. 설계는 E-빔 리소그래피 (E-beam lithography) 도구의 최적의 성능에 최적화되어 처리 시간을 줄이고 일관된 프로세스 결과를 보장합니다. 이 자산에는 통합 프로세스 컨트롤러 및 데이터 취득 모델이 포함됩니다. 이렇게 하면 프로세스 및 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있고, 자세한 로깅 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비에는 웨이퍼 (wafer) 의 로드 및 언로드 및 주변 공기 세척 및 프라이밍 (priming) 을위한 웨이퍼 처리 시스템도 포함되어 있습니다. 이 디자인은 클린 룸 (clean-room) 과 호환되며, 밀봉된 공정 챔버는 외부 소스에서 오염을 방지합니다. SEMITOOL EQ242S/PR은 많은 산업 및 연구 응용 분야에 이상적인 포토 esist 처리 장치입니다. 고급 프로세스 제어 및 데이터 획득 시스템 (Data Acquisition Systems) 은 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 보장하며, 모듈식 설계를 통해 기존 프로세스 흐름에 쉽게 통합할 수 있습니다. 다양한 포토레시스트 (photoresist) 를 수용하여 다양한 포토레시스트 (photoresist) 처리 요구를 충족하는 다용도 및 신뢰성 있는 솔루션이 될 수 있습니다.