판매용 중고 SEMITOOL RFS 500/700 #9216879

SEMITOOL RFS 500/700 (Resist Film Stripper) 은 photoresist 마스크, 스퍼터링 된 photoresist 레이어 및 photoresist 스트라이프와 같은 스트립, 청소 및 드라이 포토 esist에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "와퍼 ', 즉 태양 전지판, 혹은 진공 환경 내 에서, 훌륭 한 균일성 을 지닌" 포토레이스트' 를 제거 하고 깨끗 하게 할 수 있도록 설계 되었다. RFS 500/700 은 최적의 결과를 얻기 위해 필요한 압력, 온도, 흐름 속도를 생성하도록 설계된 단일 프로세스 모듈입니다. PD 컨트롤러와 프로세스 챔버의 제거, 백 필링, 플러싱 등 필요한 유틸리티를 제어하는 3 가스 매니 폴드로 구성됩니다. 이 장치는 마이크로 스프레이어 (Micro sprayer) 를 사용하여 광전 세제 (photoresist cleaning agent) 를 질소 및 물과 혼합하고 스프레이하고, 기본 기판에 최소한의 영향을 미치는 광 세제로부터 잔기를 제거한다. 또한, 조절 가능한 5 점 컨베이어를 사용하면 클리닝 유체의 균일 한 분배가 가능하여, 균일하지 않은 필름 제거가 발생하지 않도록 할 수 있습니다. 광전자가 벗겨지고 청소되면, 고효율 진공을 사용하여 건조된다. 이것은 터보-진공 펌프 (turbo-vacuum pump) 의 도움으로 이루어지며, 이는 용매와 가습식 공기 분자를 증발시키는 고속 공기 흐름을 만들어 포토 esist의 빠르고 안전한 제거를 가능하게합니다. SEMITOOL RFS 500/700은 다양한 광저장제 (photoresist removing agent) 와 기판, 다양한 온도, 압력 및 유속 기준을 통해 일관성 있고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 내장형 전원 공급 장치 (Power Supply) 및 환기 시스템 (Ventilation System) 으로 구성되며, 전용 보안 소프트웨어를 통해 프로세스 챔버에 액세스할 수 있으며, 엔지니어가 스트리핑 및 청소 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, SEMITOOL RFS 500/700은 효과적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 단위로, 우수한 균일성을 위해 높은 진공 환경 내에서 다양한 포토 esist 및 기판을 제거 할 수 있습니다. 그것 은 모든 수술 에 이상적 인 기계 로서 "포토레지스트 '와 비슷 한 과정 의 안전 하고 일관성 있는" 스트립핑' 과 청소 가 필요 하다.