판매용 중고 SEMITOOL Raider #9241514
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세미툴 레이더 (SEMITOOL Raider) 는 반도체 장치의 빠르고, 안정적이며, 정확한 제작을 위해 개발 된 포토레스 장비입니다. 이 시스템은 Silicon, Germanium, Gallium Arsenide 및 Indium Phosphide 장치를 포함한 다양한 재료로 작동하도록 설계되었습니다. 상세한 모션 컨트롤러 (motion controller) 와 조작 알고리즘 (manipulation algorithm) 을 사용하여 고해상도 결과를 제공할 수 있습니다. 레이더 (Raider) 장치는 여러 개의 컴포넌트로 구성되며, 각각은 전체 머신의 성능과 정확성에 기여합니다. 이 도구에는 기판의 정확한 이동이 가능한 완전히 자동화 된 XYZ 단계가 있습니다. 스캐닝 터널링 현미경으로 정렬 된 접촉이없는 척 (contactless chuck) 도 포함되어 있으며, 포토레스 필름을 패턴화하는 추가 메커니즘을 제공합니다. SEMITOOL Raider에는 통합 비전 기능과 여러 카메라 헤드가 있는 데이터 획득 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 이러한 헤드를 사용하면 범위 중심 이미지를 완전한 정확도로 찍을 수 있습니다. Raider 자산의 또 다른 정교한 기능은 긴 노출 기능입니다. 이 기능을 사용하면 필름을 트래버스 방식으로 노출시켜 넓은 영역에 대한 최대 균일성 (unifority) 을 보장합니다. 이 모델에는 포괄적인 패턴화 툴 (patterning tools) 과 결함 수정을위한 데이터 스크러버 (scrubber) 가 있습니다. 또한, 외부 소스에서 오염 물질을 피하기 위해 보호 주택이 개발되었습니다. 성능 및 안전을 최적화하기 위해 SEMITOOL Raider 에는 일련의 디지털 및 아날로그 모니터링 시스템이 통합되어 있습니다. 이 모니터는 photoresist 필름의 온도, 압력, 습도, 광학 밀도를 포함한 모든 중요한 매개변수를 측정합니다. 또한, 장비는 장치 제조에 중요한 변경 사항을 감지하여 안정적이고 안전한 제조 프로세스 (Bufricication Process) 를 만들 수 있습니다. Raider 시스템은 빠른 프로그래밍, 고해상도 이미징 등 다양한 이점을 제공합니다. 이 장치는 또한 다양한 모션 제어 알고리즘 및 조작 시스템 (디지털/아날로그 모니터링) 을 제공합니다. 이러한 기능은 모두 반도체 장치 제작에 뛰어난 성능을 제공합니다.
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