판매용 중고 SEMITOOL Raider #9207096

SEMITOOL Raider
ID: 9207096
System.
SEMITOOL Raider는 집적 회로 (IC) 및 기타 미크론 스케일 부품의 생산을 용이하게하도록 설계된 자동 포토레스 시스템입니다. Raider Processing Module 및 SEMITOOL Raider Coating Module의 두 하위 시스템을 기반으로하는 모듈식 시스템입니다. Raider Processing Module에는 컨베이어 벨트 (Conveyor Belt) 와 웨이퍼 처리를위한 정전기 처커 (Electrostatic Chucker) 가 포함 된 웨이퍼 트랙과 정밀 기판 캐리어 및 SMIF 전송 인터페이스가 장착 된 다양한 프로세스 모듈이 포함되어 있습니다. 이러한 프로세스 모듈에는 특정 응용 프로그램에 따라 다양한 유형의 etch, deposition, inspection, cleaning, lithography 및 anneal 도구가 장착 될 수 있습니다. SEMITOOL 레이더 코팅 모듈 (SEMITOOL Raider Coating Module) 에는 다양한 코팅 헤드와 다양한 포토 esist 재료를 처리 할 수있는 액체 노즐이 포함되어 있습니다. 강도 제어 기능을 갖춘 Phoseon Fusion UV 광원이 장착되어 있으며, 양성 톤 및 음성 톤 광자극에 최적의 UV 노출을 제공 할 수 있습니다. 다른 기능으로는 에어나이프와 포토 esist 개발 및 제거를위한 롤 코터가 있습니다. 이 시스템은 대용량 생산을 지원하는 다양한 레시피 자동화 (Recipe Automation) 기능을 갖춘 확장성이 뛰어나도록 설계되었습니다. Raider는 고품질 재료로 제작되었으며 정확성과 견고성을 위해 설계되었습니다. 유선형 포토레시스트 (photoresist) 제작 공정을 위해 간단한 인터페이스 및 직관적인 작동을 제공하여 사용자를 염두에두고 설계되었습니다. 또한 개방형 플랫폼 (Open Platform) 을 사용하면 신속한 문제 해결을 위해 문제를 해결할 수 있습니다. 마지막으로, 효율성 향상을 위해 여러 웨이퍼를 동시에 실행할 수있는 기능으로 인상적인 처리 시간 (turnaround time) 을 자랑합니다. SEMITOOL Raider는 미크론 스케일에서 IC 및 기타 구성 요소 생산에 귀중한 자산입니다. 포토레스 처리 (photoresist processing) 에 필요한 모든 구성 요소 (고도로 구성 가능한 프로세스 모듈 및 업계 최고의 UV 소스를 갖춘 다용도 코팅 모듈) 가 있습니다. 또한, 사용자 친화적이며, 안정적이며, 최소한의 유지 보수를 통해 대용량 생산을 지원하도록 설계되었습니다. 요컨대, Raider는 숙련 된 및 신인 포토 esist 프로세서 모두에게 완벽한 도구입니다.
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