판매용 중고 SEMITOOL Raider #9029095

SEMITOOL Raider는 웨이퍼 처리에 반도체 산업에서 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 코팅, 스트리핑 및 애싱 포토 esist에 사용됩니다. 이 장치는 일관되고 반복 가능한 처리 시간, 웨이퍼 간 균일성, 향상된 수율을 제공하도록 설계되었습니다. Raider 는 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 수동 (manual) 또는 완전 자동화 (fully automated) 작업을 위해 구성될 수 있으며, 특정 응용 프로그램에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 또한 이중 밀봉 도어, 내장 비상 정지 버튼, PLC 기반 안전 도구, 운영자 보호를위한 스플래시 가드, 전기 정적 호환 인클로저 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 자산에는 사전 청소 챔버, 노출 챔버, 전달 챔버, 노출 후 챔버 등 여러 처리 챔버가 포함됩니다. 모델의 사전 청소 챔버 (pre-cleaning chamber) 는 기판을 청소하는 데 사용되며, 노출 챔버 (exposure chamber) 는 기판을 제품별 UV 방사선에 노출시키는 데 사용됩니다. 전달 챔버는 웨이퍼를 한 챔버에서 다른 챔버로 옮기는 곳입니다. 마지막으로, 노출 후 챔버는 노출 후 잔여 포토 esist를 제거하는 데 사용됩니다. 이 장비에는 통합 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있어 웨이퍼 처리와 향상된 웨이퍼 처리량이 가능합니다. "암 '을" 와퍼' 를 시작 "챔버 '에서 끝" 챔버' 로 자동 이동 시키고 가공 전 과 후 에 "웨이퍼 '를 회전 시키도록" 프로그램' 할 수 있다. 로봇 암은 최대 10cm/s의 속도로 한 번에 최대 3 개의 웨이퍼를 움직일 수 있도록 프로그래밍 될 수 있습니다. SEMITOOL Raider는 표준 수용성 및 비 수용성 용액을 포함한 다양한 포토 esist 물질을 처리하도록 설계되었습니다. 시스템을 여러 재료를 동시에 처리하도록 구성할 수도 있으며, 이를 통해 효율성을 높일 수 있습니다. 또한, 다른 시간에 다른 유형의 웨이퍼를 처리하도록 장치를 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 를 사용하여 사용자가 처리 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있으며, 보정 커브 (calibration curves) 와 타이밍 매개변수 (timing parameter) 를 설정할 수 있습니다. 이를 통해 자산이 최고 수준의 성능으로 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 이 모델은 또한 운영자의 안전을 보장하기 위해 여러 안전 기능으로 설계되었습니다. 이를테면, 문제 가 생길 때 재질 배달 을 재빨리 중지 시킬 수 있는 안전 차단 "밸브 '와, 운전자 가 방 을 나갈 필요 가 있다면, 즉시 장비 를 정지 시키는 데 사용 할 수 있는 비상 정지" 스위치' 가 포함 된다. 전반적으로 레이더 (Raider) 는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 안정적이고 효율적인 시스템입니다. 이 장치는 빠르고 정확한 처리 시간, 향상된 수율, 사용자 친화적 운영을 제공합니다. 포토레시스트 (photoresist) 처리 능력을 향상시키려는 기업에 적합한 옵션입니다.