판매용 중고 SEMITOOL Raider Mini #9214746

SEMITOOL Raider Mini
ID: 9214746
Pre-clean system.
세미툴 레이더 미니 (SEMITOOL Raider Mini) 는 반도체 업계의 높은 정확도와 넓은 영역 패턴화의 요구를 충족시키기 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. MEMS 및 기타 반도체 장치 제작에 이상적입니다. Raider Mini는 고해상도 10 MP 카메라와 OpenStage 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 기능의 조합은 가장 높은 해상도 및 반복 성을 가진 기판의 패턴 (pattern) 을 매우 정확하게 정렬합니다. 스태이징 정확도는 나노 미터 (nanometer) 수준으로 내려가고 포토 esist 정렬 정확도는 더 세밀합니다. SEMITOOL Raider Mini는 또한 완벽한 기판 간 정렬을 보장하는 고급 진공 보류 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 Raider Mini는 유연한 기판 로딩 옵션을 자랑합니다. 이 기계는 웨이퍼, 패널, 비표준 모양 기판 등 다양한 유형의 기판을 0.5 ~ 5mm 범위의 두께로 수용할 수 있습니다. 최대 크기 330mm x 450mm의 기판을 처리 할 수 있습니다. SEMITOOL Raider Mini의 완전 폐쇄 루프 제어 장치는 효율성이 높으며, 최대 40% 까지 주기 시간 절약이 가능합니다. 이 기계는 또한 챔버 (chamber) 의 양쪽에 독립적 인 히터 (heater) 와 활성 온도 균일 제어 (active temperature uniformity control) 를 갖춘 기판 온도 제어를 제공합니다. Raider Mini에는 운영자 안전을 보장하는 안전 기능도 있습니다. 여기에는 가스 도구 고장, 과압 센서 및 연동 에셋에 대한 경보가 포함됩니다. 마지막으로 SEMITOOL Raider Mini는 사용자 친화적입니다. 모든 기능 및 설정 매개변수는 터치스크린 인터페이스를 통해 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 정확하고 신뢰할 수 있는 모델을 직관적으로 제어 할 수 있습니다.
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