판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD #9300422

세미툴 레이더 ECD (SEMITOOL Raider ECD) 는 반도체 산업 내에서 대규모 생산 및 개발 응용 분야를 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 웨이퍼 처리, 포토 esist 코팅, 베이킹, 정렬, 스테퍼 사진 이미징, 개발 및 린싱을위한 완전히 통합 된 처리 시스템입니다. 이 장치에는 쉽게 작동하고 프로그래밍할 수 있도록 Windows 기반 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있습니다. 터치 스크린 디스플레이 (Touchscreen Display) 는 사용자 액세스 및 직관적인 메뉴를 통해 Photoresist 작업을 통해 연산자를 안내하는 다양한 옵션을 제공합니다. 자동 로더를 사용하면 웨이퍼를 기계에 빠르고 쉽게 적재 할 수 있습니다. 또한 프로세스 단계 (process steps) 는 소프트웨어에서 미리 정의될 수 있으며, 따라서 사용자는 여러 노출의 중단 없는 주기를 실행할 수 있습니다. 레이더 ECD (Raider ECD) 는 정확한 확산 정지가있는 온보드 저항 코트 코터를 갖추고 있으며, 저항에서 개발자로 변경할 때에도 정확한 코팅 두께를 달성 할 수 있습니다. 여기에는 냉방 휠 (heated wheel) 이 장착 된 새로 설계된 저항 트랙이 포함되어 있으며, 각 베이크 사이클에서 뛰어난 균일성과 반복성을 제공합니다. 또한 웨이퍼 정렬을위한 진공 척 (vacuum chuck), 노출을위한 빔 테이블, 자동 초점 헤드 및 회전, 선형 및 다중 노출을위한 자동 드라이브 (autodrive) 가 있습니다. SEMITOOL Raider ECD에는 또한 향상된 가동 시간 및 양방향 작동을위한 새로운 독점 개발자 스프레이 헤드가 포함되어 있습니다. 개방형 프레임 설계를 통해 손쉽게 부품을 액세스하고 정비할 수 있습니다. 에셋은 시간당 최대 300개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며 최대 300mm (wafer) 의 최대 웨이퍼 크기를 갖습니다. 배치 및 단일 포토 esist 프로세스를 모두 지원합니다. Raider ECD는 photoresist 제작 과정에서 정밀도와 자동화를 모두 제공하도록 설계되었습니다. 직관적인 연산자 (operator) 를 통해 빠른 설정과 프로그래밍을 보장하고, 반복 가능한 반복성을 갖춘 정확한 결과를 제공하며, 일관성을 갖춘 신뢰할 수 있는 웨이퍼를 생성합니다. 이 모델은 공장 전체의 자동화 네트워크 (automation network) 에 연결되어 중앙 위치에서 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 장비는 포토레시스트 (photoresist) 시스템 시장의 선두 주자 중 하나이며, 대규모 생산 및 개발에 완벽한 선택입니다.