판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD #9275234

SEMITOOL Raider ECD는 백엔드 응용 프로그램을위한 낮은 k 및 마른 산화물 필름 스택을 만들도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 낮은 k 재료의 최적의 제작을 위해 UV 노출 및 분해 기술을 모두 결합하는 전자 사이클로트론 증착 (ECD) 챔버입니다. 이 단위는 RF 쉴드로 분리 된 2 개의 존 (zonal) 구획을 사용하여 기질에서 산화물을 증착 한 다음 산화물 구조 상에서 광 분해된다. Raider ECD는 OEM 어플리케이션과 소형 웨이퍼 패브에 이상적인 머신으로, 경제적이고, 컴팩트하며, 긴 수명을 위해 Co-axial 듀얼 셔터 도구를 통합합니다. SEMITOOL Raider ECD는 다양한 유전체 응용 분야에 유리한 독특한 디자인과 기능을 갖추고 있습니다. 특수 유기 및 무기 화학 물질을 사용하는 프레 클린 에셋 (Preclean Asset) 과 함께 제공되어 잔류 성 산화물을 제거하여 기질 표면을 준비합니다. 이 제품은 이중 셔터 (dual shutter) 모델을 사용하여 입자와 오염 물질로부터 재료를 보호하며 레거시 프로세스에 대한 하위 호환성, 표준 레시피 수용을 허용합니다. Raider ECD는 별도의 프로세스 챔버를 통해 높은 유연성을 제공합니다. 증착 챔버 (deposition chamber) 는 산화물 재료를 정밀하게 퇴적시키도록 설계되었으며, 분해 챔버 (decomposition chamber) 에는 미세 선 및 피쳐 인쇄를위한 고급 포토 esist 기술이 장착되어 있습니다. 이 photoresist 프로세스는 최대 6 개의 다른 기능 크기와 최소 40nm의 기능 크기를 생성 할 수 있습니다. 또한, SEMITOOL Raider ECD에는 정밀도 및 바이어스 제어 기능이 장착되어 있어 유전체의 정밀한 레이어 두께 제어가 가능합니다. 레이더 ECD (Raider ECD) 는 처리 속도가 높고, 비용이 저렴하며, 정밀도가 높아 포토리스트 시장에서 눈에 띄는 독특한 제품입니다. 학술 및 상업 응용 프로그램 모두에서 우수한 성능을 제공하는 것으로 입증되었습니다. 독특한 디자인과 특징으로 인해 모든 포토 esist 제작을위한 신뢰할 수있는 장비입니다. SEMITOOL Raider ECD는 경제적이고, 신뢰할 수 있고, 정확한 포토 esist 처리를 추구하는 사람들을위한 이상적인 포토 esist 시스템입니다.