판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 312 #293829203

SEMITOOL Raider ECD 312
ID: 293829203
웨이퍼 크기: 12"
System, 12" Process module.
SEMITOOL Raider ECD 312는 집적 회로 및 CMOS (metal-oxide-silicon) 반도체 장치의 대용량 생산을 위해 특별히 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 소자 제조에 필요한 사진 (photolithography) 프로세스에 대해 최고 수준의 정밀도와 정확도를 제공합니다. SEMITOOL RAIDER ECD-312에는 대형 웨이퍼의 고해상도 이미징을위한 정밀 옵틱이 포함되어 있습니다. 광학 장치는 가변 전력 다이오드 레이저 소스 (variable-power diode laser source) 와 다양한 광학 구성 요소가있는 신뢰할 수있는 레이저 다이오드 어레이를 통합합니다. 리소그래피 중 정확도를 극대화하기 위해 고출력 ORS (Optical Redribution Machine) 도 Raider ECD 312에 포함되어 있습니다. 이 도구는 여러 웨이퍼에 동시에 고정밀 이미징을 구현할 수 있습니다. RAIDER ECD-312는 금속 및 실리콘 기반 저항의 고정밀 에칭을 제공하는 혁신적인 포토 esist 자산을 사용합니다. 이 모델에는 정확한 저항 적용을위한 고효율 스핀 코팅 모듈 (spin coating module) 및 포토 esist 전달 장치가 포함되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼가 균일하게 코팅되어 지속적으로 고품질 석판 결과를 얻을 수 있습니다. SEMITOOL Raider ECD 312에는 화학적 기계 연마 (CMP) 를위한 고급 컨디셔닝 모듈 및 밀도가 높고 깨끗한 광상상 가능 구조를 생산하는 데 사용됩니다. 이러한 모듈을 사용하면 고품질의 반복 가능한 CMP 처리와 ULSI에 대한 복잡한 3D 광상상 가능 구조를 만들 수 있습니다. SEMITOOL RAIDER ECD-312 사용자 인터페이스는 Windows 운영 장비를 기반으로 하며, 사용하기 쉽고 직관적으로 작동합니다. 또한 장비 제어 (Equipment Control) 및 데이터 수집 (Data Collection) 을 위한 다양한 옵션을 제공하여 사용자는 프로세스를 최적화하고 처리량을 늘릴 수 있습니다. 또한 포괄적인 네트워킹 기능을 통해 운영 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다 (영문). Raider ECD 312는 대용량 반도체 소자 생산에서 photolithography 프로세스에 이상적인 선택입니다. 포토레시스트 (photoresist) 프로세스에 대한 최고 수준의 정확성과 정밀도를 제공하며, 강력한 컴포넌트와 사용자 친화적 인 인터페이스로 운영 및 유지 보수가 용이합니다.
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