판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 312 #293807054
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SEMITOOL Raider ECD 312는 다양한 응용 프로그램에 대한 고정밀 사진 리토그래피 프로세스를 가능하게하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 시스템입니다. 광전도 (Photolithography) 는 반도체 처리의 핵심 부분이며, 빛과 사진 민감성 화학 물질을 사용하여 마스크에서 기판의 표면으로의 패턴을 전달하는 것을 포함합니다. SEMITOOL RAIDER ECD-312는이 프로세스에 대해 매우 효율적이고 자동화된 플랫폼을 제공합니다. Raider ECD 312는 실리콘, 사파이어, 유리, 석영 등 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 2 인치에서 8 인치 직경의 웨이퍼까지 다양한 웨이퍼 크기를 지원합니다. 또한 초보라색 노출, 심해 (deep-UV) 노출 및 열 처리와 같은 더 민감한 프로세스 단계를 처리 할 수 있습니다. RAIDER ECD-312에는 고급 제어 및 처리 기능이 있어 정확하고 반복 가능한 패턴을 만들 수 있습니다. 최대 8 미크론 해상도로 이미징을 수행할 수 있으며 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 제어합니다. 프로세스 모니터링 및 교정에 사용되는 통합 마이크로 프로세서가 있습니다. 멀티 존 (multi-zone) 난방 플레이트를 갖추고 있으며, 각 존에서 정확한 온도 조절을 가능하게하며, 불규칙한 웨이퍼 모양이있는 경우 고정밀 초점을 유지하는 멀티 포커싱 (multi-focusing) 이라는 기술이 사용됩니다. SEMITOOL Raider ECD 312 (SEMITOOL Raider ECD 312) 에는 photolithography 프로세스의 각 단계를 통해 웨이퍼를 이동하는 데 사용되는 컨베이어 시스템도 포함되어 있습니다. 여기에는 프로세스의 다른 단계에서 웨이퍼 (wafer) 를 모니터링하는 데 사용되는 여러 카메라 시스템이 포함됩니다. "웨이퍼 '로부터 포토레지스트 를 청소 하기 위한 자동 청소" 노즐' 도 포함 된다. SEMITOOL RAIDER ECD-312 (SEMITOOL RAIDER ECD-312) 는 사용 가능한 가장 고급적이고 신뢰할 수있는 사진 분석 시스템 중 하나이며, 태양 광 장치, 평면 패널 디스플레이 및 기타 고해상도 응용 프로그램을위한 복잡한 패턴을 생산하는 데 적합합니다. 효율적인 자동 처리 (automated handling) 기능과 정밀한 이미징 기능이 결합되어 있어 다양한 반도체 (semiconductor) 제작 프로세스를 선택할 수 있습니다.
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