판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384188
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SEMITOOL Raider ECD 310은 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 직경이 최대 800mm 인 소형 웨이퍼 (wafer) 와 대형 웨이퍼 (wafer) 를 모두 처리 할 수 있으며, 넓은 작업 영역, 인체 공학적 설계 및 직관적 인 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이 "시스템 '은 여러" 레이저' 를 복수 "렌즈 '와 정밀 선형" 스테이지' 와 함께 사용 하여 "웨이퍼 '에 균일 한 얇은 포토레지스트 코팅 을 정확 하게 제공 한다. 또한 포토 esist 분배 과정을 실시간으로 모니터링 할 수있는 통합 비전 유닛 (Integrated Vision Unit) 도 포함되어 있습니다. 이 기계에는 과도한 포토 esist를 제거하기위한 2 개의 스핀 온/스핀 오프 (spin-on/spin-off) 플랫폼 옵션이 추가되어 있으며 사용하지 않는 포토 esist를 쉽게 제거 할 수 있습니다. 또한, 이 공구는 광 (light-tight) 뚜껑으로 설계되어, 닫히면 포토 esist 필름을 외부 광선 간섭으로부터 보호하며, 공정에서 사용되는 레이저의 강도로 인해 필름에서 얇아지는 것을 방지합니다. SEMITOOL RAIDER ECD-310은 높은 처리량 환경에 사용하도록 설계되었으며, 효율적이고 안정적인 프로세스를 제공합니다. 빠른 시작 시간, 작은 발 인쇄 및 낮은 소유 비용이 특징입니다. 이 자산은 유지 보수 및 청소가 용이하도록 설계되었습니다. 또한, 이 모델에는 안전 기능 (Safety Feature) 이 장착되어 있어 오염 가능성을 감지하고 고장 발생 시 장비를 자동으로 종료합니다. 전반적으로 Raider ECD 310은 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 포토리스 (photoresist) 시스템으로, 처리량이 많은 환경에서 사용하기에 적합합니다. 견고한 디자인이 특징이며 유지 관리가 쉽고 깨끗합니다. 또한, 안전 기능은 최대 효율성과 정확성으로 웨이퍼를 처리합니다.
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