판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 310 #9384187

SEMITOOL Raider ECD 310은 정확한 photolithography etch 처리를 위해 설계된 자동 저항 스트리핑 및 청소 장비입니다. 이 "시스템 '은 반도체 산업 의" 에치' 처리 에 필요 한 광소시스트 '및 기타 기판 들 을 제거 하고 청소 하는 데 사용 된다. SEMITOOL RAIDER ECD-310은 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 설계되었으며, 사용하기 쉽고 간단한 프로그램을 제공합니다. 이 장치는 조정 가능한 메가 소닉스 (Megasonics) 모드를 사용하여 에치 프로세스 청결을 위해 광범위한 최적화 옵션을 제공합니다. 이 기계는 이중 탱크 도구를 갖추고 있으며, 청소 응용 프로그램의 유연성과 효율성을 제공합니다. 두 탱크 모두 액체 유출을 제한하도록 설계된 밀폐 된 동굴 (closed cavity) 로 제작되었습니다. 또한 고유한 Multi-Step 옵션을 통해 프로세스 일관성과 무결성을 크게 향상시킬 수 있습니다. ECD 310 은 효율적인 난방 자산을 활용하여, 프로세스 작업 중에 균일한 난방 프로파일을 제공합니다. 리프트 오프, 스프레이 오프 및 스크럽 오프 클리닝 응용 프로그램이 장착되어 있습니다. 리프트 오프 (lift-off) 모드는 가열 된 DI 물을 사용하여 기판에서 작은 입자의 포토 esist를 들어 올리기 위해 균일 한 수면을 달성합니다. 스프레이 오프 모드는 고압을 사용하여 웨이퍼에서 부드러운 액체 제거를 달성합니다. 스크럽 오프 모드는 최적의 청소를 위해 초음파 캐비테이션 에너지를 사용합니다. 이 모델은 고도로 자동화되어 있으며, 고급 로봇 공학으로, 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 기판을 정확하게 전송할 수 있습니다. 포토 마스크, 웨이퍼, 200mm/300mm 및 스루 실리콘 비아 (TSV) 와 같은 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 청소 프로세스 레시피를 위해 프로그래밍 될 수있는 로봇 부품이 있으며 프로그램 레시피를 저장하고 리콜 할 수있는 "배치 모드 (batch mode)" 가 있습니다. ECD 310은 SEMI S2 및 EHS 표준을 준수하므로 생산에 안전합니다. 최신 컬러 터치스크린 (touch-screen) 을 통해 작업을 쉽게 수행할 수 있으며 실시간 프로세스 모니터링, 프로세스 기록, 보고 기능 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 장비는 휴대할 수 있으며, 어디서나 이동하고 설치할 수 있습니다. 전반적으로 Raider ECD 310은 사용자에게 에칭 프로세스를 지원하는 고급, 사용자 친화적 인 자동 포토리스트 (photoresist) 시스템입니다. 다양한 기능을 갖추고 있으며 업계 표준 (Industry Standard) 을 준수하므로 애플리케이션 에칭에 이상적인 선택입니다.