판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 310 #9274916

ID: 9274916
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Electroplating system, 12" 2009 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 310은 마이크로 일렉트로닉스 생산에서 고품질 포토 esist 회로 패턴의 안정화를 위해 개발 된 고급 포토 esist 장비입니다. 표준 석판 방법의 기능을 초과하는 향상된 성능을 제공합니다. 이 장비는 고급 직접 쓰기 (direct write) 기술을 활용하여 이미지 품질과 정밀도를 유지하면서 저항파 (resist pattern) 의 고가의 접촉을 방지합니다. 이 시스템은 단색 레이저 정렬 장치 (Monochrome Laser Alignment Unit) 를 갖추고 있으며, 기존의 광학 부품 대신 레이저 다이오드를 활용하여 뛰어난 정확도를 제공합니다. 이 기술은 또한 잘못된 정렬을 제거하고, 생산 실행을 통해 샷 투 샷 (shot-to-shot) 프로세스 변형을 보상하며, 일관된 에치 깊이와 신뢰할 수있는 에치 속도를 보장합니다. SEMITOOL RAIDER ECD-310 (SEMITOOL RAIDER ECD-310) 은 포토리스 처리 (photoresist processing) 에 적합한 다양한 기능으로 뒷받침됩니다. 높은 전력 성능을 갖추고 있으며, 최대 36V 의 효율적인 프로세스 rcor 잠재력을 제공합니다. 이 기계는 또한 고급 보호 코팅 층 (protective coating layer) 을 가지고 있으며, 이는 열과 공격적인 화학 물질로 인한 접착판 손상 가능성을 줄입니다. 최고의 처리량과 신뢰성을 제공하면서 효율적인 구성 공간을 제공하는 컴팩트한 디자인 (compact design) 을 제공합니다. Raider ECD 310은 또한 입자가 없는 프로세스 및 냉각 프로세스를 보장하는 온도 조절 기능을 제공합니다. 이 도구는 초음파 (megasonic wave) 를 사용하여 패턴 장치 위의 포토 esist 계층으로 합성하는 고성능 메가 소닉 클리닝 장치를 갖추고 있습니다. 이 청소 프로세스는 일관된 결과와 뛰어난 정밀도를 제공합니다. 또한이 자산에는 저온 베이크 퍼니스, 빠른 용매 건조기 및 캡슐화 된 개발자가 있습니다. 이러한 컴포넌트는 함께 작동하여 추가 열 손상 없이 정확한 프로세스 결과를 제공합니다. RAIDER ECD-310 은 2 m 의 작은 크기 (feature size) 로 복잡한 회로 패턴을 만들 수 있어 가장 까다로운 어플리케이션을 위한 뛰어난 해상도를 제공합니다. 첨단 기술 기능으로 인해 오늘날의 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 제조 환경에 효과적이고 신뢰할 수있는 도구이며, 복잡한 포토 esist 회로 패턴을 효율적으로 제작 할 수 있습니다.
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