판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 310 #293792208
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ID: 293792208
System, 8"-12"
Process: TES
(2) FOUPs / FOSBs
Robot
Controller
Process module:
CPC / Type
1 / Backside clean, 12"
2 / Vacuum pre wet, 12"
3 / Raptor TSV, 8"
4 / Raptor TSV, 12"
6 / DOB SLE, 12"
9 / Capsule 1, 8"
10 / DI Pre wet, 12"
Delivery system:
Tank / Size
DSPM (Process) / 10L PFA
DPSM (Mixing) / 10L PFA
TSV Catholyte / 20L PFA
TSV Anolyte / 20L PFA
SLE Catholyte / 36L NPP
SLE Anolyte / 20L PFA.
SEMITOOL Raider는 PCB 어셈블리 프로세스 동안 집적 회로 (IC) 및 미세 전자 장치 기판의 개발 및 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 다양한 금속 증착 (metal deposition) 및 에칭 (etching) 기술과 함께 사용할 수있는 종합적인 포토리스트 (photoresist) 및 포스트 개발 시스템을 제공합니다. Raider 장치는 자동화된 소프트웨어, 하드웨어, 프로세스 서비스 패키지를 통해 고급 수준의 기판 프로세스 제어를 지원합니다. SEMITOOL Raider 기계의 핵심 구성 요소는 포토 esist 탱크이며, 여기서 기질은 침몰되어 처리 중 photoresist에 노출됩니다. 포토 esist 탱크는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 기판 처리 중에 포토 esist에 접근 할 수 있도록 개방되거나 밀봉 될 수있는 2 개의 뚜껑이 있습니다. 레이더 (Raider) 도구는 또한 포토 esist 노출의 정확한 제어를 위해 photoresist 탱크를 통해 기판을 자동으로 이동시키는 프로그래밍 된 스캐닝 단계를 포함합니다. 기질은 다음 발달 후 처리 챔버 (post-development processing chamber) 로 옮겨지며, 여기서 포토 esist 발달이 일어난다. 이 챔버에서, 기질은 가압 산소, 질소 및 아르곤의 고도로 통제 된 대기에 노출된다. SEMITOOL 레이더 (SEMITOOL Raider) 에셋은 개발 과정의 일환으로 광저장제를 더 활성화시키기 위해 고강도 빛을 적용합니다. 옵션 UV 소스를 사용하여 포토 esist 노출을 더욱 정련 할 수 있습니다. 레이더 (Raider) 모델은 포토리스 (photoresist) 및 개발 후 기능 외에도 금속 증착 공정을 제어하기위한 다양한 옵션을 제공합니다. 전기 화학 증착, 스퍼터링, 직접 금속화 등 다양한 증착 서비스가 제공됩니다. SEMITOOL 레이더 (SEMITOOL Raider) 시스템에는 기판의 금속을 정확하게 증착 할 수있는 높은 정확도 그림자 마스크가 장착되어 있습니다. 자동화된 프로세스 매개변수를 구현하여 금속 증착 프로세스를 더욱 최적화할 수도 있습니다. 레이더 (Raider) 장비는 기판 개발 및 금속 증착에 대한 포괄적 인 솔루션을 제공하는 다재다능하고 고성능 포토리스 (photoresist) 처리 시스템입니다. 자동화된 소프트웨어 및 하드웨어 패키지는 다양한 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 장치 기판에 대한 고품질 처리를 보장합니다.
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