판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 310 #293663019

SEMITOOL Raider ECD 310은 정확하고 자동화된 배치 처리를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 액체 및 건조 저항 제품을 모두 운영 할 수 있으며, 온도는 -48 ° C ~ 288 ° C, 근접성은 최대 15cm입니다. SEMITOOL RAIDER ECD-310은 또한 가변 강도의 광원을 특징으로하며, 광범위한 저항 노출 최적화를 허용합니다. 이 장치는 밀도가 높은 펌프, 밸브, 센서 (센서) 와 매우 빠르고 안정적인 데이터 수집 머신으로 구성되어 있습니다. 이를 통해 모든 매개변수, 조정, 연산을 정확하게 제어할 수 있으며, 각 레지스트 (resist) 배치는 동일한 처리 매개변수를 받습니다. Raider ECD 310은 내장형 인덱서와 함께 제공되므로 다양한 레지스트 레시피 (resist recipe) 간에 빠른 설치 및 전환이 가능합니다. 또한 다른 SEMITOOL 자동 장비와 함께 또는 독립적으로 작동하여 포토 esist 처리를 위한 통합 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 이 도구는 사용자와 제품을 잠재적인 위험 (hazard) 으로부터 보호하기 위해 여러 가지 안전 (safety) 기능을 통합합니다. 여기에는 누출 감지 자산 (leak detection asset), 임의의 수준의 액체 저항 누출 (liquid resist leakage) 및 외부 입자의 존재를 모니터링하도록 설계된 입자 검출기 (particle detector) 가 포함됩니다. 이 모델에는 고급 열 보호 기술 (Advanced Thermal Protection Technology) 이 장착되어 있어 프로세스 온도가 세트 한도를 초과하지 않도록 합니다. 전반적으로 RAIDER ECD-310은 종합적이고 자동화된 배치 처리를 위해 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 제품은 다양한 기능과 안전 시스템 (Safety System) 을 제공하며, 다양한 레시피 간의 효율적인 변경을 위한 통합형 인덱서를 제공합니다. 이 시스템은 완전히 자동화되어, 정밀하고 높은 처리량을 필요로 하는 실험실, 생산 라인에 이상적인 선택이 됩니다.