판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 310 #293652806

SEMITOOL Raider ECD 310
ID: 293652806
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Electroplating system, 12" 2009 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 310은 매우 미세한 구조를 위해 최적의 이미징 프로세스를 제공하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. SEMITOOL의 검증된 ARIE (Automatic Reactive Ion Etching) 기술을 기반으로 뛰어난 이미지 명암비, 선호하는 이미징 프로파일 및 높은 균일성을 제공합니다. SEMITOOL RAIDER ECD-310에는 차세대 드라이 에치 (dry-etch) 이온 빔 소스가 장착되어 있어 고해상도 이미징과 몇 나노 미터의 미세 에칭이 가능합니다. 이 시스템은 또한 photoresist의 효율적인 제거를 위해 RIE (Reactive Ion Etching) 와 우수한 결함 제어를 위해 특수 광선 방전 청소 장치를 사용합니다. 또한 Raider ECD 310 은 최적의 성능을 제공할 뿐 아니라, TCO 도 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 단일 작동 기계로, 별도의 etch 및 clean 단계가 필요하지 않습니다. 또한 마스크 변경 및 빠른 처리 속도를 지원하는 범용 Substrate Transfer Robot을 사용합니다. RAIDER ECD-310에는 효율적인 작동을 위한 강력한 Windows 기반 플랫폼이 포함되어 있습니다. 공구 작업 (Tool operation) 은 다양한 표준 및 옵션 피쳐를 사용하여 개별 기본 설정에 맞게 조정할 수 있습니다. 여기에는 자산 성능을 추적하고, 이미징 결함을 방지하는 프로세스 모니터 (process monitor) 와 높은 석판화 해상도를 보장하는 특수 플라즈마 기반 피쳐가 포함됩니다. SEMITOOL Raider ECD 310은 매우 훌륭한 장치 구조의 고급 이미징 및 에칭을 위한 신뢰할 수 있는 고성능 솔루션입니다. 첨단 드라이-에치 (dry-etch) 이온 빔 (ion beam) 모델을 사용하여 뛰어난 이미지 해상도를 보장하며, 다중 작업의 필요성을 제거하여 소유 비용을 최소화합니다. 강력한 Windows 기반 플랫폼은 다양한 기능과 컨트롤을 제공하여 프로덕션 및 리서치 설정에 이상적입니다 (영문).
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