판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 210 #9355393
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ID: 9355393
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Electroplating system, 8"
Model no: R310PD2 (1SA2CFD1CAP) 08 (CuNi) 03
(3) Cassette WIPs
Linear dual arm robot
With single vacuum end effector
Advanced Replenishment Unit (ARU)
(2) Chemical Delivery Units (CDU)
(2) Heat exchangers
DI Boost pump
Fire suppression system
With (3) CO2 Bottles
Computers:
WIP Computer
Module Computer
Robot Computer
Controllers:
Front User Interface (FUI)
Rear User Interface (RUI)
502 Controller
Operating system: Windows embedded
Chamber mainframes:
CPC 2 / Capsule, backside clean and bevel etch
CPC 4 / ECD, CFD3M
CPC 7 / ECD, CFD3M
CPC 9 / SRD
Missing parts:
Rings and lip seals
Anodes
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 4 Wires, 3 Phase
2004 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 210은 반도체에서 MEMS 제조에 이르기까지 다양한 응용 분야를 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 와 기판 에 "포토레스트 '를 배치 하고 제거 하여 표면 층 을 만들고 전자 부품 을 구축 할 수 있도록 설계 되었다. 정확한 스캐닝 (scanning) 을 통합하여 전체 영역에 걸쳐 레이어를 균일하게 커버할 수 있습니다. Raider ECD 210에는 고급/사용자 친화적 인 컴퓨터화 소프트웨어가 있으며, 이 소프트웨어는 더 빠른 증착 및 스트리핑 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 단위를 통해 운영자는 전체 프로세스를 컴퓨터 (예: 코팅 속도, 속도, 압력, 온도 등) 에 프로그래밍할 수 있습니다. SEMITOOL Raider ECD 210은 필요한 온도, 저온 속도 및 열량 비율을 조정하여 더 나은 물질 제어를 제공합니다. 이 기계는 조정 가능한 회전 속도와 화학 용액 격리를 제공하여 웨이퍼 (wafer) 또는 기판에 포토 esist를 최적으로 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 그것 은 관대 한 유연성 을 지니고 있으며, "실리콘 '에서 석영 에 이르기 까지, 여러 가지 물질 로 구성 된 여러 가지 기판 들 을 처리 할 수 있다. 회전실 을 쉽게 제어 하여, 화학적 과정 을 신속 히 설치 할 수 있다. 또한 화학 용액 을 효과적 으로 함유 하고, 광저장층 의 오염 을 감소 시킬 수 있다. Raider ECD 210에는 화학적 위치 및 저장 추적을위한 RFID 도구가 장착되어 있으며, 운영자의 안전을 보장합니다. 또한 코팅 공정의 속도와 압력을 정확하게 제어하기 위해 내장 (in-built) 인터페이스가 제공됩니다. 그 에 더하여, 더 매끄러운 동작 과 감광 층 의 질 을 유지 하기 위하여, 이 자산 은 진공 "스트라이핑 '과정 과 통합 된다. 일관된 결과를 제공하기 위해 SEMITOOL Raider ECD 210에는 내장 모니터링 및 제어 기능이 있습니다. 이 모델은 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 기반으로 설계되었으며, TCO (저비용) 와 함께 지속적으로 높은 수율을 제공합니다. Raider ECD 210은 집적 회로 구성 및 MEMS 어셈블리를 포함한 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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