판매용 중고 SEMITOOL Raider ECD 10 #9211215
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SEMITOOL Raider ECD 10은 직경이 최대 10 "인 기질의 완전하고 반복 가능하며 통합 된 포토 esist 코팅을 제공하는 포토 esist 코팅 장비입니다. 이 시스템은 배치당 최대 16 개의 웨이퍼 (wafer) 를 수용 할 수 있으며, 기판의 전체 표면에서 모서리 (edge-to-edge) 분포를 통해 균일 한 코팅을 제공하도록 설계되었습니다. Raider ECD 10은 최대 600mm의 인상적인 코팅 너비를 제공하는 듀얼 헤드 스프레이어 디자인을 사용합니다. 개발 헤드는 독특한 레이디 얼 스프레이 제트 (radial spray jet) 를 특징으로하며, 이를 통해 와퍼의 총 적용 범위를 확보할 수 있습니다. 이 솔루션은 코팅 과정과 전반적인 표면 범위의 균일성을 보장합니다. SEMITOOL Raider ECD 10에는 전체 프로세스 제어를 지원하는 PC 기반 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 압력 (pressure), 솔루션 속도 (solution speed), 너비 (width), 오버프레이 (overpray) 와 같은 개별 스프레이 헤드 매개변수를 제어하여 웨이퍼에 대한 관심 영역으로 정확하게 분배되도록 할 수 있습니다. 이 간편한 탐색 (navigate) 메뉴 프로그램은 프로세스 및 성능과 관련된 표준 보고서뿐만 아니라 최대 50 개의 프로세스 레시피를 기록합니다. 레이더 ECD 10 (Raider ECD 10) 은 뛰어난 내구성과 고유한 안전성을 제공하는 우수한 재료로 제작되었습니다. 노즐 하우징은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 수명이 길어지고 노즐은 세라믹 (ceramic) 으로 만들어져 화학 마모를 줄입니다. 화학 마모를 줄입니다. 장치의 챔버에는 최대 안전을 위해 이중 층 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 이 밀봉되어 있습니다. 마지막으로, SEMITOOL Raider ECD 10은 다양한 화학 물질 및 마스칸트와 호환되도록 설계되었습니다. 이 기계는 최소한의 유지 보수가 필요하며, 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다.
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