판매용 중고 SEMITOOL Raider 312 #9240237

SEMITOOL Raider 312
ID: 9240237
System.
SEMITOOL Raider 312는 최신 정밀 석판 기술을 갖춘 고급 포토리스트 장비입니다. 이 시스템은 단일 마스크, 다중 패턴화, 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 등 다양한 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. Raider 312는 196nm 깊이 UV에서 11,000nm 파장에 이르는 3 단계 광원을 특징으로합니다. 이 장치는 3 개의 석영 할로겐 광원을 사용하여 최대 노출 범위를 제공합니다. 또한, 기계에는 정밀 가변 초점 광학 도구, 줌 광학 어셈블리, 자동 초점 에셋 등 여러 고급 광학이 있습니다. 이러한 기능은 뛰어난 이미징 정확도와 고해상도 기능을 제공합니다. SEMITOOL Raider 312의 작동 가능 제품은 다양한 크기와 재료 구성의 최대 8 개의 기판 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. 이 테이블에는 다양한 두께의 기판을 수용하기 위한 조정 가능한 높이 제어 모델 (Adjustable height control model) 과 정확한 위치 지정을 위해 두 개의 정렬 단계 (Alignment Stage) 가 있습니다. 웨이퍼를 가로 질러 균일 한 조명을 보장하기 위해 장비에는 고정 평면 반사기 (fixed plane reflector) 와 역 필드 산란 감소 쉴드 (reverse field scatter reduction shield) 도 포함됩니다. 이 시스템은 온도 조절 (temperature control) 옵션도 갖추고 있어 렌즈 온도를 조정하여 품질을 최대화할 수 있습니다. 통합 반사 방지 코팅 장치는 다양한 노출에 최대 유연성을 제공합니다. Raider 312는 모든 photolithography 프로세스 단계를 처리하도록 설계되었습니다. 통합 웨이퍼 처리 기계는 자동 기판 로딩 및 정렬을 허용합니다. 노출은 2.5 초 안에 신속하게 수행 될 수 있습니다. SEMITOOL Raider 312는 완전히 자동화 된 폐쇄 루프 교정 절차를 사용합니다. 모든 애플리케이션에서 반복 가능한 성능을 보장합니다. 이 툴은 또한 사용자 친화적 운영을 위한 다양한 표준 소프트웨어 옵션을 제공합니다. 또한, 자산 설정 및 유지 보수에 대한 고객 서비스 및 기술 지원이 제공됩니다. 요약하면, Raider 312는 고급 광학 및 온도 조절 시스템을 갖춘 고정밀 사진 리토그래피 모델로, 뛰어난 이미징 정확도 및 노출 시간을 제공합니다. 완전하게 자동화된 프로세스와 닫힌 루프 보정은 일관된 성능과 안정성을 보장합니다.
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