판매용 중고 SEMITOOL PSC-102 #293642734

SEMITOOL PSC-102 (SEMITOOL PSC-102) 는 포토 리토 그래피 과정에서 화학적, 가벼운 소스에 균일 한 웨이퍼 노출을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (배달 스테이션과 노출 장치) 로 구성됩니다. 배달 스테이션 (delivery station) 은 웨이퍼를 노출 장치 안팎으로 이동시키는 데 사용됩니다. 역에는 2 개의 카세트가 있으며 각 카세트에는 최대 15 개의 웨이퍼가 있습니다. 웨이퍼는 3 축 정렬 메커니즘을 사용하여 카세트에서 노출 장치 (exposure unit) 로 전송되며, 이는 와퍼를 전달 카세트에서 직접 노출 장치에 정렬합니다. 또한 자동화 소프트웨어를 사용하여 카세트, 웨이퍼 전송 및 노출 매개변수를 제어합니다. 노출 장치 (Exposure Unit) 는 기계의 중심이며 웨이퍼를 빛에 노출시키는 데 사용됩니다. 이 장치 에는 고강도 "램프 '가 들어 있는데, 이 램프 는 여러 형태 의 광저항 물질 에 대해 각기 다른 수준 의 광도" 램프' 로 설정 할 수 있다. 이 장치는 또한 노출 시간을 정확하게 제어합니다. 노출 지역은 밀봉되어 먼지 및 기타 오염 물질로부터 보호됩니다. 이 도구는 또한 고급 안전 측정 (Advanced Safety Measures) 을 제공하여 사용자와 웨이퍼가 방사선으로부터 보호되도록 합니다. 또한 SEMITOOL PSC 102는 자동 업스트림 및 다운스트림 프로세스 제어를 제공합니다. 여기에는 정확한 노출 시간 (Exposure Time) 및 수준을 추적하는 정확한 모니터링 자산 (Monitoring Asset) 과 이전에 사용되었던 노출 설정을 저장하고 회수하는 기능이 포함됩니다. 이러한 기능은 균일 하고 반복 가능한 포토 esist 패턴을 생산하도록 보장합니다. 전반적으로 PSC-102는 자동화되고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 포토 esist 패턴화 모델입니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 및 안전 (Safety) 기능은 오염으로부터 보호하고 빛에 과도한 노출을 제공하면서 생산을 통해 웨이퍼를 구동 할 수 있습니다. 자동화된 제어 및 업스트림 (upstream )/다운스트림 (downstream) 프로세스 제어 장비를 통해 정확하고 반복 가능한 포토레지스트 패턴을 쉽게 만들 수 있습니다.