판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9400845

SEMITOOL PSC-101은 photolithography, photoresist patterning 및 etch 프로세스와 같은 photoresist 재료의 최종 사용자 처리를 위해 설계된 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 챔버, 컴퓨터 제어 장치, 셔터, 컨베이어 및 레이저 빔 제어 메커니즘으로 구성됩니다. 챔버 (chamber) 는 외부 요인이 포토 esist 코팅 프로세스에 미치는 영향을 최소화하는 깨끗하고 통제 된 환경을 제공하도록 설계된 밀폐 인클로저 (airtight enclosure) 입니다. 챔버 (chamber) 기능에는 진공 및 여과 장치 (filtration unit) 가 포함되며, 이는 먼지와 작은 입자가 기판 표면에 정착하지 않도록 보장합니다. 또한, 챔버는 질소 기반 가스로 제거 될 수 있으며, 온도 조절 기능을 가질 수있다. 컴퓨터 제어 장치를 사용하여 사용자는 시스템의 다양한 매개변수 (예: 압력, 시간, 레이저 전원 설정) 를 제어할 수 있습니다. 제어 장치는 소프트웨어 업그레이드, 경보 알림, 디지털 판독값, 기타 프로그래밍 기능과 같은 기능도 제공합니다. "셔터 '는 광물질 에" 패턴' 을 형성 하기 위하여 수직 "레이저 '광선 을 방출 하도록 설계 된 장치 이다. SEMITOOL PSC 101 도구 (SEMITOOL PSC 101 Tool) 의 특징은 신뢰성이 높고 정확한 셔터로, 포토 esist 물질이 낭비되지 않도록 도와주고, 원하는 패턴이 정밀도로 형성됩니다. 컨베이어는 체인 구동 벨트 (chain-driven belt) 와 다양한 다른 구성 요소로 구성되며, 코팅 된 기판을 챔버에서 개발 도상국으로 운반하는 데 사용됩니다. 컨베이어 (conveyor) 는 진동을 최소화하고 최적의 작업 조건을 위해 기질의 균일 한 이동을 가능하게하도록 구성됩니다. "레이저 '광선 조절 장치 는" 레이저' 광선 을 정확 하게 지도 하는 데 사용 되며, 이것 은 광염증 을 조절 하는 증착 을 허용 한다. "렌즈 '와 반사판 의 수집 은" 레이저' 빛 을 정밀도 로 기판 에 집중 시키고 집중 시키는 데 사용 된다. PSC-101 자산은 또한 사용자가 레이저 빔을 일시 정지 및 조정할 수 있도록 "조그 모드 (jog mode)" 를 제공하여 정확하고 정확한 포토레지스트 응용 프로그램이 발생하도록 합니다. 전반적으로, PSC 101은 고정밀 포토 esist 응용 프로그램 및 코팅을 처리하도록 설계된 신뢰할 수있는 포토 esist 모델입니다. 이 장비는 엄격한 처리 (processing) 제약을 충족할 수 있으며, 각 사용자의 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 시스템은 매우 다재다능하며 많은 photoresist 응용 프로그램에 훌륭한 솔루션을 제공합니다.