판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9268658
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SEMITOOL PSC-101 (SEMITOOL PSC-101) 은 다양한 프로세스 단계에서 포토 esist 재료의 개발 및 증착을 위해 설계된 다목적 포토 esist 장비입니다. 사용자는 각 applicaiton 에 대한 최적의 재료 매개변수를 정의하고 사용자 정의할 수 있으며 스핀 코팅 (spin coating) 및 광학 이미징 (optical imaging) 기능을 모두 갖추고 있습니다. 이 장치는 제어 된 양의 스핀 속도, 가속, 감속을 기판에 전달함으로써 작동합니다. 0 ~ 10,000 rpm에서 스핀 코팅과 10 ~ 600 rpm/s의 가속이 가능합니다. 기계는 또한 기판과 코팅 헤드 (coating head) 사이의 높이 차이를 자동으로 보정하여 균일 한 코팅을 보장 할 수 있습니다. SEMITOOL PSC 101의 광학 이미징 기능은 포토 esist의 정확한 이미징을 가능하게합니다. 이 도구에는 고성능 이미징 옵틱과 독점적 인 "캡처" 및 "노출" 제어 전자 장치가 장착되어 있어 빠르고 정확한 이미지 캡처가 가능합니다. 이 자산을 통해 사용자는 정확한 정확도로 노출 시간을 제어할 수 있으며, 이를 통해 일관된 결과와 반복 (repeatability) 을 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 사용자가 응용 프로그램을 사용자 정의할 수 있는 다양한 (fatures) 기능이 포함되어 있습니다. PSC-101은 최대 4 개의 다른 탱크 (tank) 를 장착 할 수 있으며, 다양한 포토 esist 재료를 사용할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 완전하게 자동화된 프로세스에 통합되어 처리량을 향상시키고 인력 (labor intensity) 을 줄일 수 있습니다. PSC 101 포토레시스트 (photoresist) 시스템은 애플리케이션 개발을 위해 유연한 솔루션이 필요한 사용자에게 적합한 선택입니다. 이 장치는 다용도 재료 안정성 및 이미징 기능과 함께 탁월한 정밀도, 반복성을 제공합니다. 이 기계의 유연한 프로그래밍 및 자동화 (automated) 기능은 또한 빠른 프로세스와 노동 강도의 감소를 가능하게합니다.
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