판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9232949

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SEMITOOL PSC-101
판매
ID: 9232949
웨이퍼 크기: 8"
Cleaner, 8".
SEMITOOL PSC-101 (SEMITOOL PSC-101) 은 얇은 포토 esist 필름을 기판에 담그도록 설계된 포토 esist 스트립 장비입니다. 세미 톨 PSC 101 (SEMITOOL PSC 101) 은 기판에 포토 esist 용액을 침전시키고, 이어서 오븐에서 치료되어 균일 하고 고해상도 코팅을 제공한다. PSC-101 은 고급, 고점도 솔루션 제공 시스템을 사용하여 기판의 정확하고 정확한 코팅을 보장합니다. 이 장치에는 속도 (speed), 열 (heat) 및 기타 변수를 수정하여 원하는 코팅 두께 (coating thickness) 및 해상도를 얻을 수 있는 다양한 제어 설정이 있습니다. 포토 esist 용액의 감광 물질은 내장 된 통합 UV-C 광원의 도움으로 UV 광원에 빠르게 노출됩니다. 이 노출 은 훌륭 한 접착 과 함께, 기판 위 에 정확 하고 균일 한 "코우팅 '을 개발 하는 데 도움 이 된다. 조절 가능한 높이 노즐을 사용하여 포토레지스트의 두께를 제어할 수 있으며, 내장형 고해상도 마이크로미터 (micrometer) 는 노즐과 기판 사이의 정확한 간격을 결정하는 데 도움이 됩니다. SMARTCONTROL (SMARTCONTROL) 소프트웨어를 사용하면 사용자가 photoresist 매개변수를 쉽게 설정하고 전체 non-stop 코팅 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. PSC 101 머신에는 인라인 큐어블 벨트 드라이브 (inline curable belt-drive) 가 포함되어 있어 운영자가 코팅 작업을 빠르게 시작하고 마칠 수 있습니다. 그것 은 더 큰 "챔버 '를 가지고 있는데, 이것 은 훨씬 더 큰 기판 에서 균일 한 경화 를 이루는 데 도움 이 된다. 이 도구에는 기판을 미리 가열하기위한 지속적으로 조절 가능한 공기 샤워 (air shower) 와 코팅 프로세스를 최적화하기 위해 정적 소산 작업 표면 (static-dissipative work surface) 이 포함됩니다. 진공 기능 은 치료 가속화에 도움이 되며, 자동화된 테이크 업 (take-up) 스핀들 (spindle) 은 높은 처리량의 기판을 위해 설계되었습니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 SEMITOOL PSC-101은 더 두껍고 일관된 코팅을위한 이상적인 포토 esist 스트립 자산으로 만들어집니다. 즉, 프로젝트를 위한 고해상도 (high resolution) 결과를 얻고자 하는 고객에게는 안정적이고 경제적인 솔루션입니다.
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