판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9206783

SEMITOOL PSC-101은 고정밀 제조 프로세스에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 증착 과정 의 균일성 과 정확성 을 보장 하기 위하여" 포토레시스트' 를 반도체 "웨이퍼 '에 증착 시키도록 설계 되었다. 이 장치는 자외선 광원 (UV light source) 을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 에 특수한 광선 감광 코팅을 노출시킨 다음 원하는 제조 피쳐의 부정적인 이미지를 형성합니다. SEMITOOL PSC 101은 레이저 제어, 3 위치 스테이지를 특징으로하여 챔버 내에서 웨이퍼의 정확한 위치 및 이동이 가능합니다. 이 기계는 또한 안정적인 샘플 환경을 만들기 위해 충분한 진공 (vacuum) 및 제거 (purge) 프로세스를 제공하는 기능을 수행하는 로드 잠금 (load-lock) 모듈을 포함합니다. 이 도구 는 또한 광저항 "필름 '의 두께 에 따라" 레이저' 광선 의 초점 을 자동적 으로 조정 할 수 있다. 코팅 두께 분포 (coating thickness distribution) 는 디지털 카메라와 컬러 모니터를 통해 시각적으로 표시되며, 기술자가 증착 과정에서 포토레지스트 레이어를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. PSC-101 에는 다양한 정교한 컨트롤 (예: 웨이퍼 처리용 컨베이어 벨트 에셋, 자동 온도 조절 모델) 이 포함되어 있습니다. 이 장비는 포토 esist 증착 과정에 대한 높은 정확성, 반복 가능성 및 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 이 시스템은 낮은 장치 유지보수 (low unit maintenance) 와 긴 머신 수명 (long machine life) 을 위해 설계되었으며, 사용자는 시스템에 장기적인 투자를 할 수 있습니다. 결론적으로, PSC 101은 photoresist 층을 반도체 웨이퍼로 증착시키는 이상적인 솔루션이다. 이 툴은 뛰어난 제어 기능, 정확성, 낮은 유지 관리 기능, 긴 수명 주기, 높은 반복 기능 (웨이퍼 정밀 제작) 을 제공합니다.