판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9194999

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ID: 9194999
빈티지: 1997
Spin rinse dryer Upper controller 1997 vintage.
SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment는 photoresist와 함께 세척 및 코팅 웨이퍼를위한 정확하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이것 은 자동화 된 "카세트 '에서" 카세트' 웨이퍼 '처리 과정 으로 이루어져 매번 일관성 있는 결과 를 가져온다. 최신 컴퓨터 소프트웨어, 고급 컨트롤러, 고해상도 모니터가 탑재된 최신 제품입니다. SEMITOOL PSC 101은 통합 PC 기반 처리 컴퓨터를 사용하여 높은 수준의 프로세스 제어를 갖도록 설계되었습니다. 이를 통해 작업 준비, 작업 그룹 관리, 원격 모니터링 기능 (예: 많은 작업 준비) 등의 향상된 기능을 사용할 수 있습니다. 또한 사용자는 반복해서 사용할 수 있도록 특정 프로세스에 대한 데이터 (data) 와 설정을 저장할 수 있습니다. 이 장치에는 고해상도 모니터가 있어 photoresist 코팅 두께와 균일성을 시각적으로 검사할 수 있습니다. 또한 빠르고 신뢰할 수있는 모니터링 머신 (monitor machine) 을 특징으로하여 사양에서 포토레시스트를 감지 할 수 있습니다. 이 도구에는 서피스 결함을 감지하는 웨이퍼 검사 옵션도 있습니다. PSC-101은 10 초 이내에 전체 웨이퍼 (wafer) 전체에서 균일하고 일관된 포토 esist 온도를 제공하도록 설계된 자동 핫 플레이트를 갖추고 있습니다. 따라서 모든 웨이퍼에 대해 일관된 품질이 보장됩니다. 포토 esist는 분배 방법 또는 조정 가능한 스핀 속도로 스핀 코팅 (spin-coating) 을 사용하여 적용됩니다. 이는 처리 과정에서 반복 가능한 결과를 보장합니다. 포토레시스트 에셋에는 예열이 가능한 2 개의 열 청소실 (thermal cleaning chamber) 과 효과적인 청소를 위해 온도가 제어됩니다. 그런 다음, 고속, 효율적인 세척 시간을 가능하게 하는 대용량 세척 옵션이 제공됩니다. photoresist 모델은 안전하고 효율적인 작동을 위해 환기됩니다. PSC 101 작동은 모든 장비 작동에 적합한 선명한 (clear) 메뉴 방식 인터페이스를 통해 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 따라서 다양한 옵션을 선택하고 언제든지 프로세스 상태를 모니터링할 수 있습니다 (영문). 또한 사용자에게 프로세스 문제를 경고할 수 있는 여러 경고 (alarm) 를 제공하여 신속하게 응답할 수 있습니다. 전반적으로 SEMITOOL PSC-101 Photoresist System은 photoresist 처리 및 코팅을 위해 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. "카세트 '" 와퍼' 취급 을 위한 자동화 된 "카세트 '를 사용 하여, 이 장치 는 일관성 있는 결과 를 제공 하도록 설계 되었으며, 여러 가지 응용 에 맞도록 조정 될 수 있다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스 (User-Friendly Interface) 는 사용이 간편한 시스템 (Machine) 을 통해 프로세스 상태를 빠르고 정확하게 모니터링할 수 있습니다.
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