판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9175503

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ID: 9175503
웨이퍼 크기: 6"
Spin rinse dryer, 6" Power: 230 Volts.
SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment는 중요한 반도체 생산 프로세스에 사용되는 매우 효과적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 파퍼 (wafer) 또는 기판 표면에 높은 정확도와 정밀도로 포토 리스트 (photoresist) 를 정확하게 패턴화하도록 설계되었습니다. SEMITOOL PSC 101 (PSC 101) 은 대용량 생산 응용 프로그램에 적합하며, 시중의 모든 유형의 포토 esist 재료와 호환됩니다. 이 시스템은 포토 esist 트레이, 웨이퍼 플래튼, 슬릿 프로젝터 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 포토레지스트 (photoresist) 트레이는 원하는 포토레지스트 유형을 빠르고 쉽게 선택할 수 있도록 최대 6 개의 표준 포토레지스트 (photoresist) 병을 보관하도록 특별히 설계되었습니다. 웨이퍼 플래튼 (wafer platen) 에는 Y 축 (Y-Axis) 단계가 포함되어 있으며, 인코더가 부착 된 업계 표준 DC 스테퍼 모터가 장착되어 있으며 플래튼 전체에 걸친 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 이동이 보장됩니다. 이 장치에는 노출 중 포토 esist를 패턴화하는 슬릿 프로젝터 (slit projector) 도 포함되어 있습니다. 이 슬릿 프로젝터는 고급 프로젝션 광학 머신으로, 특수 리터 플렉터 배열 및 다중 줌 (zoom) 렌즈가 특징입니다. 이러한 렌즈를 사용하면 투사된 이미지의 크기와 모양을 조정하여 포토레지스트 (photoresist) 를 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 마지막으로, 이 도구에는 다양한 안전 (safety) 기능이 포함되어 있으며, 이는 인원이 위험한 방사선에 노출되지 않도록 설계되었습니다. 이 자산은 차동 압력 감지 회로 (differential pressure sensing circuit) 및 공기 커튼 (air curtain) 과 함께 적분 안전 셔터를 사용하여 모든 방사선 누출로부터 연산자를 보호합니다. 적분 안전 셔터 (integral safety shutter) 는 전원 장애 중에 모델 격리 렌즈에서 벗어날 수있는 모든 방사선을 자동으로 차단합니다. PSC-101은 대용량 생산 환경에 이상적인, 정확하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 고감도, 고밀도 전자 부품이 무결성 (Integrity), 품질 (Quality) 으로 생성될 수 있도록 필요한 정확도, 정밀도 및 안전성을 제공합니다.
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