판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9173289

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment는 photoresist 작동을 위해 설계된 자동화된 전체 기능의 습식 처리 시스템입니다. 다양한 기능을 갖춘 모듈식 스타일입니다. 그것 은 본체 로 구성 되어 있는데, 본체 에는 각기 다른 장비 구성 요소 가 들어 있으며, 자동 "로더 '는 기계 에 기판 을 적재 하는 데 사용 된다. photoresist 도구는 사전 처리, 저항 코트, 노출 후 베이크, 개발 및 스트립/린스 프로세스를 포함하여 photoresist 재료를 개발하고 증착하기위한 몇 가지 뚜렷한 프로세스로 구성됩니다. 개별 구성 요소는 각 단계에 대해 최적의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 전처리 과정에는 기질이 산화 된 PECVD가 포함되며, 레지스트 코트 공정 (resist coat process) 은 기질에 photoresist를 균일하게 적용하도록 설계되었습니다. 노출 후 베이크 프로세스는 포토 esist를 강화하고 용매를 증발시키도록 설계되었으며, 개발 프로세스는 핫 스프레이 (hot-spray) 또는 전기없는 방법을 사용하여 노출되지 않은 포토 esist를 제거합니다. 그런 다음 스트립/린스 프로세스는 웨이퍼에서 나머지 포토 esist를 제거합니다. Photoresist 자산은 SEMITOOL PSI (Printing Model Interface) 소프트웨어를 사용하여 제어합니다. 장비의 작동은 PSI 소프트웨어를 통해 완전히 자동화되어 모든 프로세스에서 정확성, 균일성, 반복성이 보장됩니다. 자동 로더 기능 이외에도 기판 로딩 (Subtrate Loading), 수동 저항 조정 (Manual Resist Adjustment) 등 다양한 수동 프로세스로 시스템을 설정할 수도 있습니다. Photoresist Unit은 작동, 유지 관리 및 업그레이드가 용이하도록 설계되었습니다. 접속 기능 및 원격 I/O 기능을 통해 원격 작업, 실시간 모니터링, 시스템 진단을 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 예방 유지 보수 (preventive maintenance) 를 위한 몇 가지 옵션으로 최소 가동 중지 시간 (mag track) 을 최소화하도록 설계되었습니다. 전체적으로 SEMITOOL PSC 101 Photoresist Tool은 고효율의 자동 (automated) 공정 자산으로, 정확성, 반복성 및 최소한의 가동 중지 시간을 제공하는 고품질 photoresist 프로세스를 제공합니다. 접속성, 원격 I/O 기능, 예방 유지 보수 옵션과 같은 기능을 통해 반도체 장치 제조, 연구, 기타 포토레시스트 (photoresist) 작업을 위한 최적의 선택이 됩니다.