판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #9060137

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment는 자동 스트립핑 후 접촉 저항 프로세스에 최적화된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 구성 가능한 통합 화학 전달 시스템 (CDS) 을 갖춘 SEMITOOL PSC 101은 산 또는 알칼리 용액을 포함한 거의 모든 유기 및 수성 화학 물질과의 호환성을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 접촉 (contact) 및 탈피 후 저항 (post-stripping resist) 모두에 대해 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. CDS는 온보드 화학적 공급 및 자동 보충 (automated replenment) 형태의 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 화학 전달을 제공합니다. 이 기계의 화학 전달 도구 (chemical delivery tool) 에는 여러 저수지가 포함되어 있으며, 각 화학의 정확한 전달을 위해 개별적으로 활성화 될 수있는 개별 계량 자산이 있습니다. 또한 CDS에는 정확한 프로세스 타이밍 시퀀스를 작성하기위한 디지털 컨트롤러 (Digital Controller) 와 최대 99 개의 다른 레시피를 저장할 수있는 포괄적인 프로세스 매개변수 저장 목록 (Process Parameter Storage List) 이 포함되어 있습니다. PSC-101은 저항의 적용과 관련하여 유연성을 위해 설계되었습니다. 기판에는 다양한 장착 옵션이 있으며, 스핀 코팅, 스프레이 코팅 및 딥 코팅에만 국한되지 않습니다. 또한, 이 모델은 다양한 샤워 헤드 (shower head) 또는 총을 사용하여 처리량을 늘릴 수 있습니다. 이 장비에는 온도 조절 린스 챔버 (Rinse Chamber) 도 포함되어 있으며, 사용자는 온도 조절 린스와 스트립핑 후 (Post-stripping) 가 필요한 프로세스를 이용할 수 있습니다. 온도 조절 린스 챔버 (Rinse Chamber) 는 높은 품질의 스트립핑 후 공정을 제어할 수있는 제어 유전체 레이어를 사용자에게 제공합니다. PSC 101 은 또한 향상된 프로세스 (예: 수동화 계층 자동 적용) 를 위한 플랫폼 역할을 합니다. 자동화된 수동화 계층 (passivation layer) 은 훨씬 더 높은 수율로 알려져 있으며, 오염으로 인한 실패율을 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다. 이 공정은 자동 유전체 코팅 디스펜스 헤드를 미터로 활용하고, 여러 레이어의 수동화를 정밀하게 제어합니다. 또한 SEMITOOL PSC-101은 간편한 서비스 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 최종 사용자의 서비스 가능한 모듈에 쉽게 액세스할 수 있으므로, 사용자는 프로세스 문제를 신속하게 진단하고, 장비를 최적의 성능으로 복원할 수 있습니다. SEMITOOL PSC 101 Photoresist System은 스트립핑 후 접촉 저항 및 기타 특수 프로세스에 대한 제어 및 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. CDS는 화학 전달 및 공정 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 반면, 다중 장착 옵션 (multiple mounting options) 과 최고 성능 온도 제어 린스 챔버 (peak performance temperon-controlled rinse chamber) 를 사용하면 온도 제어 린스가 필요한 프로세스를 최대한 활용할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 품질 향상, 장애 발생률 감소, 엔드 유저 서비스 가능한 모듈을 통한 간편한 서비스/유지 보수 (maintenance) 액세스를 위한 향상된 프로세스를 사용자에게 제공합니다.