판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #293778466
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SEMITOOL PSC-101은 까다로운 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 "시스템 '은 특수 한" 포토레지스트' 방법 을 이용 하여 장치 를 위한 전자 부품 을 만들기 위하여 고도 의 정밀 한 "패턴 '을" 실리콘 웨이퍼' 로 탈취 한다. 이 장치는 직경이 4 ~ 12 인치 인 다양한 웨이퍼 크기를 사용하여 작업 할 수 있습니다. 기본 얕은 에치에서 딥 스트립 에치 (deep strip etch) 에 이르기까지 다양한 에칭 프로세스를 수행 할 수있는 완전한 기능의 제조 솔루션입니다. 기계의 코어는 통합 석판화 도구입니다. 이 제품은 강력한 스테퍼와 함께 제공되며, 다크 필드 (darkfield) 와 브라이트 필드 이미징 (brightfield imaging) 모두에 사용될 수 있으며 포토 esist 덮인 웨이퍼에 패턴을 노출시키는 데 사용됩니다. 스테퍼는 직경 12 인치까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 중대형 웨이퍼 생산에 적합합니다. SEMITOOL PSC 101은 또한 FIB (집중 이온 빔) 노출, PLAD 노출 및 VLS 노출과 같은 다양한 노출 및 이미징 옵션을 제공합니다. FIB 노출로 자산은 정밀도로 5nm까지 에치 다운 할 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 지그와 비품 (예: 펠리클, 척 프레임) 이 함께 제공되어 노출 과정에서 웨이퍼가 완벽하게 정렬되고 완벽하게 중심이 됩니다. 또한 자체 웹 제어 소프트웨어 (Web Controlling Software) 와 함께 제공되어 각 칩에 대해 적절한 노출 매개변수가 설정되었는지 확인합니다. 또한, 이 장비는 사용자에 대한 완벽한 원격 액세스를 제공하며, 전체 원격 디버깅 및 프로세스 제어는 물론, 시스템의 실시간 피드백 (feedback) 도 지원합니다. 전반적으로 PSC-101 포토레시스트 (photoresist) 장치는 중대형 웨이퍼 생산을 위한 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적이며 강력한 솔루션입니다. 반도체 (반도체) 업계의 엄격한 요구를 충족시키고 매번 고품질 포토레시스트 (포토레지스트) 결과를 제공한다. 원격 디버깅 및 프로세스 제어를 위한 자체 웹 제어 소프트웨어뿐만 아니라 완벽한 웨이퍼 (wafer) 정렬을 위한 다양한 노출 및 이미징 옵션, 지그 (jig) 및 비품 (fixture) 을 제공합니다.
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