판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #293639634

SEMITOOL PSC-101
ID: 293639634
Spin dryer.
SEMITOOL PSC-101 포토레지스트 (photoresist) 장비는 전자 및 마이크로 일렉트로닉스 부문에서 소형 고해상도 부품의 정확한 생산을 위해 특별히 설계된 포괄적이고 포괄적 인 리소그래피 시스템입니다. SEMITOOL PSC 101은 고급 옵틱, 정밀 레이저 온도 제어 및 환경 관리 시스템뿐만 아니라 자동 제어 및 모니터링 시스템을 사용합니다. 이 장치는 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 이것들은 다음과 같습니다: photoresist를 적용하고 제거하는 photoresist spin machine; photoresist 기질을 정확하게 노출시키는 고해상도 노출 도구; 부품을 청소, 개발 및 식각 할 수있는 습식 처리 스테이션. 포토 esist 스핀 에셋은 통합 컨트롤러, 스핀 모터, 스핀 척 (spin chuck) 및 진공 펌프로 구성되며, 모두 매우 정확한 볼륨에서 포토 esist의 정확한 적용을 지원하도록 설계되었습니다. 노출 모델 (Exposure Model) 은 레이저 제어 (Laser Control) 및 초점 장비 (Focus Equipment) 를 갖추고 있어 노출 소스의 거리와 각도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 즉, 고밀도 노출을 보장하고, 매우 높은 해상도를 제공하여, 가장 작은 기능까지도 가장 정밀하게 에칭, 개발할 수 있습니다. 마지막으로, 습식 처리 스테이션 (wet processing station) 은 온도, 압력 및 기타 매개변수와 같은 변수의 프로세스 제어를 자동화하여 컴포넌트의 에칭 및 클리닝을 제어할 수 있습니다. PSC-101은 매우 작은 기하학, 고해상도 컴포넌트 (high-resolution component) 및 기타 섬세한 컴포넌트의 생산을 포함하여 다양한 포토리스 처리 요구에 대한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 고급 시스템 설계는 높은 수준의 안정성, 정확성, 반복성 (repeatability) 을 보장하며, 따라서 모든 정밀 처리 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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