판매용 중고 SEMITOOL PSC-101 #293600518

SEMITOOL PSC-101은 SEMITOOL, Inc.에서 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 제조업체가 정밀도, 품질 (quality) 이 높은 제품을 빠르고 정확하게 제조할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치의 주요 구성 요소에는 cleanroom-controlled process chamber, automated substrate transfer robot 및 spray robot이 포함됩니다. 이 공정 챔버 (process chamber) 는 포토레스 처리 (photoresist processing) 를 위해 깨끗하고 멸균된 환경을 제공하도록 설계되었으며 빠르고 신뢰할 수있는 기판 개발이 가능한 통합 된 자동 짝짓기 프로세스를 갖추고 있습니다. 자동화된 기판 전송 로봇 (automated substrate transfer robot) 은 입력에서 출력으로 웨이퍼를 안전하고 제어된 방식으로 전송합니다. 마지막으로, 스프레이 로봇에는 매우 정확한 노즐 머신 (nozzle machine) 이 장착되어 기판에 포토 esist를 균일하게 적용합니다. 이 도구는 실리콘 웨이퍼, 유리, 쿼츠 및 폴리 이마이드를 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 polyimide Parylene, polyimide Fertanol, polyimide polyamide, polyimide SiLK, polyimide BN 및 polyimide Acrylic과 같은 여러 가지 코팅을 제공합니다. MethorFilm Autoloader, Resist Type III (Type TX-1), RepositFilm AP300 및 Resist Exposure Kit을 포함한 다양한 포토 esist를 자산에 사용할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 광저항 과민을위한 다양한 레이저와 함께 사용될 수있다. SEMITOOL PSC 101의 공정 챔버에는 정확도를 높이기 위해 여러 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 빠른 열 처리 장비, 온도 조절 챔버, 이중 기판 히터, 균일 제어 시스템 및 프로세스 모니터가 포함됩니다. 빠른 열 처리 장치 (Rapid Thermal Processing Unit) 는 최소 수의 주기로 고품질 스프레이를 생성하여 주기 시간을 줄이고 효율성을 높일 수 있습니다. 온도 조절 챔버를 사용하면 섭씨 0 ~ 500도에서 챔버의 온도를 조절할 수 있으므로 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이중 기판 히터는 처리 중 기판을 동일한 온도로 유지하는 반면, 균일 성 제어 머신 (uniformity control machine) 은 균일 한 노출을 보장합니다. 마지막으로 프로세스 모니터 (process monitor) 를 통해 photoresist 노출 프로세스를 모니터링할 수 있으며, 제조업체는 잠재적인 문제를 신속하게 진단하고 해결할 수 있습니다. PSC-101 (PSC-101) 은 정밀도를 높이고 주기 시간을 줄이려는 포토레시스트 제조업체에 이상적인 도구입니다. 자동화된 프로세스, Cleanroom 제어 프로세스, 다양한 호환 포토레시스트 (photoresist) 를 갖춘 이 툴은 안정적이고 효율적인 툴로서, 품질을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다.