판매용 중고 SEMITOOL Paragon #293636054

ID: 293636054
빈티지: 2001
ECD Plating system 2001 vintage.
SEMITOOL Paragon은 반도체 산업의 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 특허를받은 포토 리토 그래피 프로세스 (photolithography process) 를 중심으로 만들어졌으며, 이를 통해 기질은 빛에 민감한 폴리머 (photoresist) 로 패턴화되어 에칭 및 기타 제조 프로세스를 사용하여 원하는 장치 구조를 만들 수 있습니다. Paragon photoresist 단위는 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 여기에는 photolithography 프로세서, 저항 분무기, 개발자 목욕 및 스핀 드라이 목욕이 포함됩니다. 광전지 (photolithography) 프로세서는 기계의 가장 중요한 구성 요소이며, 투영 된 패턴 광선을 사용하여 기판에 포토리스 스트 (photoresist) 를 노출시킵니다. "레지스트 스프레이어 '는" 패턴' 이 된 빛 에 노출 되기 전 에 "포토레지스트 '의 고른 층 을 기판 에 적용 시키는 데 사용 된다. 그런 다음 개발자 목욕을 사용하여 포토 esist를 추가로 처리합니다. 이것은 에칭 과정을 용이하게하기 위해 수행됩니다. 마지막으로, 스핀-드라이 목욕 (spin-dry bath) 은 기질에서 남은 포토 esist를 제거하고 기질이 완전히 깨끗하도록 사용됩니다. SEMITOOL Paragon photoresist 도구는 여러 가지 이점을 제공합니다. 유지 관리 및 운영이 용이하며, 설치 공간이 작고, 빠르고, 안정적이며, 반복 가능합니다. 또한, 자산은 다양한 포토리스 연주자 (photoresist) 와 기판을 처리 할 수 있으므로 더 정밀하고 정확성이 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 전반적으로 Paragon photoresist 모델은 반도체 산업에 귀중한 도구입니다. "고성능 '과" 신뢰성' 의 조합으로 소형 전자장치의 정밀 제작에 적합하다.
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