판매용 중고 SEMITOOL Paragon #293592805

SEMITOOL Paragon은 SEMITOOL, Inc.에서 반도체에서 매우 훌륭한 기능을 만들기 위해 개발 한 '포토 esist' 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 정확도로 반도체 기판에 패턴을 이미징 할 수있는 고정밀 마스크 정렬기 (high-precision mask-aligner) 를 사용합니다. 프로세스는 기판에 전송해야 할 패턴을 포함하는 포토 마스크 (photomask) 로 시작합니다. 그런 다음, 특수 한 "포토마스크 '조각 을 기판 위 에 놓고," 마스크' 를 통해 빛나는 빛 을 사용 하여 원하는 "패턴 '을 만든다. Paragon photoresist 유닛은 Photo Aligner와 Developer의 두 가지 주요 장비 조각으로 구성됩니다. Photo Aligner는 정렬 단계, 상위 홀더 및 조명기로 구성됩니다. 정렬 단계 (Alignment Stage) 는 photomask가 기판 위에 정렬되는 정밀도를 제어하는 반면, 상단 홀더는 photomask가 이동할 수 있는 부드러운 서피스를 제공합니다. 조명기는 가시적 (visible), 자외선 (UV) 및 IR (IR) 을 포함한 photoresist 호환 광원을 사용하여 매우 훌륭한 기능을 만들 수 있습니다. 개발자는 photoresist 재료의 제거 및 고정을 위해 설계되었습니다. 포토레시스트 (photoresist) 물질이 원하는 패턴에 노출 된 후, 표면에서 청소해야하며, 새로운 포토레시스트 (photoresist) 레이어를 적용해야합니다. 이를 위해 개발자는 화학 목욕탕을 사용하는 습식 벤치 (wet bench) 를 사용하여 포토 esist를 제거하고 수정합니다. SEMITOOL Paragon photoresist machine (반도체 패러곤 포토레지스트 머신) 은 크기가 작고 피쳐 크기의 반도체 패턴을 정확하고 반복적으로 만들 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 높은 처리량과 기능 크기 제어를 통해 최대 45nm까지 정확도를 제공합니다. 에셋의 마스크 정렬기를 사용하면 웨이퍼의 포토 마스크 (photomask) 를 매우 정확하게 정렬하여 정확도를 높일 수 있습니다. 또한, 모델은 다양한 포토레시스트 (photoresist) 를 사용하여 원하는 피쳐 크기를 달성 할 수 있습니다.