판매용 중고 SEMITOOL Paragon LT-210 #9115016

SEMITOOL Paragon LT-210은 대용량 웨이퍼 처리를 위해 설계된 최고급 포토리스 처리 장비입니다. 이 시스템은 스핀 코팅 (spin coating) 에서 제거 저항에 이르기까지 모든 웨이퍼 (wafer) 프로세스에 대한 뛰어난 균일성과 제어를 제공하도록 설계되었습니다. Paragon LT-210 장치에는 모든 프로세스 영역에 별도의 가스 제어를 제공하는 멀티 존 (multi-zone) 가스 전달 머신이 포함되어 있어 온도, 압력 및 가스 흐름을 빠르고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합 UV LED 조명 도구를 사용하면 공정 챔버 전체에 UV 조명을 균일하게 분포시켜 광석판 촬영 (photolithography) 과 같은 프로세스의 통일성 및 반복 성을 극대화할 수 있습니다. 이 자산은 또한 통합 치과 로봇을 갖춘 고급 6 축 로봇 암 (robotic arm) 을 갖추고 있으며, 중요한 프로세스 단계를 정확하게 실행합니다. 치과 "로봇 '은 석판화" 마스크' 와 저항 의 정확 하고 정확 한 정렬 을 가능 케 하는 혁신적 인 특징 이다. 또한, 로봇 암은 중요한 프로세스 단계의 정확하고 반복 가능한 실행을 보장합니다. SEMITOOL Paragon LT-210 (Semitool Paragon LT-210) 은 장비의 최대 가동 시간과 신뢰성을 결합하는 매우 안정적인 정밀 웨이퍼 전송 모델을 기반으로 제작되었습니다. 이 시스템은 또한 SEMITOOL 특허를받은 ShuttleFlo 터보 진공 펌핑 장치를 갖추고 있으며, 이는 빠른 웨이퍼 턴오버를 위해 프로세스 챔버에서 증기를 신속하게 대피시킵니다. 또한 Paragon LT-210 머신에는 프로세스 매개 변수의 안전하고 효율적인 로깅 및 웨이퍼 프로세스 결과에 대한 자세한 분석이 가능한 통합 데이터 로깅/분석 툴이 포함되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 서피스 저항성 (Wafer Surface Resistivity) 및 기타 중요한 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 우수한 웨이퍼 수율 및 향상된 프로세스 제어를 제공합니다. 전반적으로 SEMITOOL Paragon LT-210은 대용량 웨이퍼 프로세스 어플리케이션을 위해 최고의 제어, 안정성 및 프로세스 정밀도를 위해 설계된 잘 둥근 포토리스 처리 자산입니다. 이 모델은 상세한 프로세스 분석을 위해 통합 분석 패키지 (Integrated Analysis Package) 를 갖춘 신뢰성이 높은 하드웨어 구성 요소를 기반으로 제작되었습니다. 이 장비는 최고 수준의 수익률과 반복 (repeatability) 에 최적화되어 업계의 웨이퍼 처리 (wafer processing) 요구에 적합한 제품입니다.