판매용 중고 SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400645

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU는 고급 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 광원, 공정 챔버 (process chamber) 및 온도 조절 시스템을 단일 솔루션으로 결합합니다. 또한 처리 챔버에 LEA (Light-Emitting Array) 가 장착되어 있어 넓은 기판에 대한 빛의 범위가 향상됩니다. 광원은 고강도, 좁은 스펙트럼, UV 조사 (250 ~ 405nm) 를 생성하는 직접 결합 발광 다이오드 (LED) 어레이를 기반으로하지만 온도 프로파일은 149 ° C까지 유지합니다. 이렇게 하면 재료가 균일하고 균일하게 처리됩니다. 또한, 크기가 다른 기판을 수용하도록 광점 크기를 조정할 수 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 균일 한 기질 온도를 유지하기 위해 통합 열 교환기로 밀봉되고 가압된다. 이 챔버에는 진공 요소 (vacuum element) 가 장착되어 있어 비활성 가스를 사용하여 대기 없이 처리 환경을 만들 수 있습니다. 온도 제어 장치는 세 개의 독립적 인 온도 제어 요소 (세라믹 히터, EHP (Electrically Heated Plate) 및 핫 플레이트) 로 구성됩니다. 세라믹 히터는 기판의 원하는 온도를 유지하는 반면, EHP 및 핫 플레이트 (hot plate) 는 공정 챔버의 온도 프로파일을 제어하는 데 사용됩니다. OEM SAT 2081D2PCCU 포토 esist 머신은 초고속 처리를 위해 설계되었으며, 최대 주기 시간은 2 초입니다. 또한 반사 방지 (Anti-reflection) 기술과 고급 기판 처리를 통해 복잡한 장치를 만드는 데 적합합니다. 이 도구의 유연한 전원 설정과 안전한 전진 광 차폐 (secure advance light shielding) 는 기판의 균일 한 노출을 제공하여 가장자리 효과로 인한 잘못된 처리를 줄입니다. 또한, 자산은 우수한 반복성 (repeativility) 과 전반적인 성능 (performance) 을 갖추고 있어 가장 엄격한 산업 상태에서도 신뢰성이 높습니다. 전반적으로 SEMITOOL SAT 2081D2PCCU는 빠르고 정밀한 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 잘 설계된 포토 esist 모델입니다. 프로세싱 환경의 온도 변형을 효과적으로 관리하면서 안정적인 성능을 제공합니다. 그것 은 여러 가지 기판 을 처리 할 수 있어서, 고급 "반도체 '장치 생산 에 이상적 인 선택 이 된다.