판매용 중고 SEMITOOL Millennium #9207932

세미톨 밀레니엄 (SEMITOOL Millennium) 은 반도체 산업의 고정밀 수요를 충족시키기 위해 설계된 포토레스 장비입니다. 그것 은 깊은 "비아 '를 만들어 극히 훌륭 한 선 과 다른 모양 을 형성 하는 것 에 이르기 까지 여러 가지 목적 으로" 반도체' 에 매우 얇고 매우 균일 한 "에칭 '무늬 를 만들어 낼 수 있다. 이 "시스템 '은 화학적 으로 억제 된 과정 을 이용 하여 여러 가지 기질 과 공정 조건 에서도, 적게 결함 이 있고," 에칭' 된 "패턴 '의 높은 일관성 을 보장 한다. 이 장치는 다용도가 높으며 다양한 기판 (기판) 과 포토레시스트 (포토레스트) 가 고객의 요구에 가장 적합하도록 조정할 수 있습니다. 밀레니엄은 포토 esist 에칭 과정에 3 단계 접근법을 사용합니다. 첫 번째 단계 는, 기판 의 표면 에 얇고 균일 한 저항층 을 만들기 위한 "포토레지스트 '코팅 과정 으로 이루어져 있다. 둘째, 프로파일로메트리는 원하는 에치 깊이를 결정하는 데 사용됩니다. 그런 다음이 정보는 제 3 단계, 즉 실제 포토 esist 패턴을 수행하는 특수, 컴퓨터 제어 에칭 머신으로 공급됩니다. 세 단계 모두 최고 해상도, 대부분의 균일 한 에치 패턴을 제공하도록 설계되었습니다. 세미톨 밀레니엄 (SEMITOOL Millennium) 도구는 에치 프로세스의 정확성과 균일성을 보장하기 위해 다양한 도구를 갖추고 있습니다. 이러한 도구에는 각 단계에서 프로세스가 최적화되도록 하는 AFR (Automated Feature Recognition) 자산이 포함됩니다. 이 모델은 시간을 절약하고, etch 프로세스와 원하는 패턴 간의 불일치를 제거합니다. 또한, 장비에는 고해상도 (HR) 도구가 있으며, 이를 통해 에치 깊이를 매우 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이것 은 특히 최대 50 "미크론 '의" 에치' 깊이 를 달성 할 필요 가 있는 경우 에 유용 하다. 마지막으로, 시스템에는 오류 감지 장치 (fault detection unit) 가 있으며, 이를 통해 포토레시스트의 부적절한 로딩과 같은 잠재적 오류 (예: etch failures) 를 감지 할 수 있습니다. 결국, 밀레니엄 (Millennium) 은 반도체 산업의 정확한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 포토레시스트 머신입니다. 다양한 기질 및 프로세스 조건에서 균일 및 결함이없는 에칭에 화학적으로 억제된 에칭 공정 (etching process) 을 활용하고, 최고 정도의 정확성과 균일성을 보장하는 도구를 사용합니다. 또한, 다용도가 높으며 고객의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다.