판매용 중고 SEMITOOL / M-TECH ST-870 #9265364

SEMITOOL / M-TECH ST-870
ID: 9265364
웨이퍼 크기: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
SEMITOOL/M-TECH ST-870 포토 esist 장비는 시장에서 가장 발전된 스핀 코터 중 하나이며, 비용 효율적인 품질 결과를 제공합니다. M-TECH ST-870은 Silicon, Quartz, Glass 및 Gallium Arsenide를 포함한 다양한 기판을 코팅 할 때 정확하고 균일 한 필름 두께를 보장하도록 설계되었습니다. 다양한 자동화 기능이 내장된 고급 제어 패키지를 제공합니다. 사용자는 모터 조정을 제어하고, 부품 무게 프로파일을 설정하고, 중요한 기판 매개변수를 유지할 수 있습니다. SEMITOOL ST-870에는 스테인리스 스틸 스핀 프레임 작업, 프레임 어셈블리 및 선택적 '진공 프레임' 의 3 가지 주요 구성 요소로 구성된 스핀 헤드 프레임 디자인이 있습니다. 이 설계 는 "코우팅 '할 때 의 정확성 과 일관성 을 보장 해 주는, 기판 을 안전 하게 부착 할 수 있게 해 준다. 부식 방지 재료 마감과 결합 된 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 구조는 추가 내구성을 제공합니다. 프레임 어셈블리는 코팅 중에 스핀 헤드를 제자리에 고정시킵니다. 또한 스핀 (spin) 방향을 변경할 필요없이 광범위한 기판 각도를 뿌릴 수있는 자동 각도 (automatic angle adjustable arm) 가 특징입니다. ST-870은 온도 조절 열 욕조와 성능 향상을 위해 강제 공기 냉각 공정 (air cooling process) 을 갖추고 있습니다. 이 단위는 최대 2000 RPM의 단일 또는 다중 기판을 코팅하는 데 사용될 수 있으며, 매번 균일 하고 균일 한 필름 (clogeneous film) 을 보장 할 수 있습니다. 모터 토크는 시작 속도에서 최대 33G-cm까지 조절 할 수 있습니다. 모터 조정 가능 자동 처리 (Motor Adjustable Autopromissions) 를 사용하면 연속 주기 실행의 초기 주기 시간과 종료 시간을 모두 설정할 수 있습니다. 또한, 린스 옵션은 최소한의 노력으로 오염 된 기질의 재 공학을 허용합니다. SEMITOOL/M-TECH ST-870은 사진에 민감한 장치 보호를 위해 Catalyst Coating, Molecularlayer Deposition (MLD) 및 Parylene CSD ™ 를 포함한 다양한 응용 프로그램 특정 프로세스를 가지고 있습니다. 또한 성능 최적화 및 주기 시간 단축을 위해 여러 개의 조정 가능한 매개변수를 갖춘 진단 시스템 (Diagnostics Machine) 이 있습니다. 이 툴에는 중앙 데이터 관리 (Central Data Management) 모델에 연결할 수 있는 자산 제어 보드 (Asset Control Board) 가 포함되어 있어 프로세스를 보다 쉽고 효율적으로 제어할 수 있습니다. M-TECH ST-870 (M-TECH ST-870) 은 장비 신뢰성 향상을 위해 통합 운영 및 프로세스 관리 모니터링 및 문서 제어 제품군을 갖추고 있습니다. 요약하면, SEMITOOL ST-870 포토 esist 장비는 오늘날 시장에서 가장 발전된 스핀 코터 중 하나이며, 균일 한 필름 두께를 유지하면서 다양한 기판을 코팅하기위한 고성능 솔루션을 제공합니다. 탁월한 신뢰성을 위해 설계되었으며, 온도 조절 목욕탕과 성능 향상을 위한 강제 공기 냉각 프로세스 (air cooling process) 를 갖추고 있습니다. 세인트 870 (ST-870) 은 수많은 애플리케이션별 프로세스와 성능을 최적화하기 위한 조정 가능한 매개변수를 통해 사용자 정의가 가능합니다. 또한 향상된 데이터 관리를 위해 통합 운영 및 프로세스 관리 모니터링 (process management monitoring) 소프트웨어가 장착되어 있습니다.
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