판매용 중고 SEMITOOL Equinox #9408167
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SEMITOOL Equinox는 반도체 웨이퍼 프로세싱에서 드라이 필름 응용 프로그램을 위해 설계된 포토레스 처리 장비입니다. 이 제품은 대용량 생산 환경에 사용하기 위해 특별히 설계되었으며, 웨이퍼 (wafer) 표면의 코팅에 저항하기 위해 완전히 자동화된 실습 접근 방식을 제공합니다. 이 시스템은 자외선 광원 (UV Light Source) 과 정밀 가스 전달 머신 (Gas Delivery Machine) 과 함께 독점적 인 핀 앤 컵 (Pin-and-Cup) 웨이퍼 운송 장치를 사용하여 저항 물질을 웨이퍼 표면에 전달합니다. 에퀴녹스 (Equinox) 의 핀앤 컵 (Pin-and-Cup) 도구를 사용하면 코팅 웨이퍼를 쉽게 검색할 수 있을 뿐 아니라 웨이퍼 간에 더 빠른 처리량과 일관된 코팅 품질을 제공합니다. 이 자산은 또한 깨끗한 처리 환경을 보장하는 현장 청소 기능을 자랑합니다. SEMITOOL Equinox는 5 ~ 12 미크론의 두께로 저항 재료를 제공 할 수 있습니다. 웨이퍼 전송 속도를 조정할 수 있으며 시간당 최대 150 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. Equinox의 UV 광원은 365 나노 미터 파장에서 UV 빛을 방출하는 일련의 램프 (lamps) 를 사용하는데, 이는 photolithography 프로세스에 이상적입니다. 광원의 강도를 조절하기 위한 가변 (Variable) 전원 공급 장치도 갖추고 있다. 또한, SEMITOOL Equinox는 최대 4 개의 압력 센서 포인트 (pressure sensor point) 와 버블 링 (bubbling) 및 스퍼터링 (sputtering) 과 같은 다수의 가스 및 화학 전달 방법론을 통해 저항 재료의 전달을 제어하기위한 완전 자동화 된 모델을 갖추고 있습니다. Equinox는 고유 한 공기 필터링 장비를 사용하여 기계 내에서 일관된 대기 품질을 유지합니다. 이 "시스템 '은" 필터레이션 패드' 를 통하여 기계 에 들어오는 공기 를 필터링 하여 오염 을 최소화 한 깨끗 한 처리 환경 을 보장 한다. SEMITOOL Equinox (SEMITOOL Equinox) 는 사진 분석 및 반도체 웨이퍼 처리를 위한 강력한 도구이며, 효율적이고 자동화된 저항 코팅 수단을 제공합니다. 대용량 생산 환경과 연구 개발 실험실 (Research and Development Laboratories) 에 적합한 다양한 기능을 제공합니다.
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